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超精密研削 |
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| 1.1 | 超精密研削 |
| 1.1.1 | 加工方式と加工精度 |
| 1.1.2 | 工具の支持剛性と加工精度 |
| 1.1.3 | 仕上げ面粗さに対する効果 |
| 1.1.4 | 延性モード研削 |
| 1.1.5 | ELID研削 |
| 1.1.6 | レジンボンドダイヤモンドホイールによる超精密研削 |
| 1.2 | 超精密研削の基礎 |
| 1.2.1 | 研削理論概説 |
| 1.2.2 | 超砥粒ホイール概説 |
| 1.2.3 | 研削面創成における被削材の延性・脆性遷移 |
| 1.2.4 | 研削における表面損傷 |
| 1.3 | ごく微粒ダイヤモンドホイールを用いた超精密研削 |
| 1.3.1 | 何故，砥粒はごく微粒か |
| 1.3.2 | 何故，ボンドはレジンボンドか |
| 1.3.3 | 砥粒の埋没現象 |
| 1.3.4 | 砥粒の埋没現象に対する対策 |
| 1.3.5 | 精密研削における技術課題 |
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| 1.3.6 | 円筒研削における超精密研削の例 |
| 1.4 | 平面の超精密研削（平面ホーニング） |
| 1.4.1 | 面接触型研削とその問題点 |
| 1.4.2 | 平面ホーニング盤の開発 |
| 1.4.3 | 砥石パターの設計 |
| 1.4.4 | 平面ホーニングの特性 |
| 1.5 | 大口径シリコンウェーハの超精密研削 |
| 1.5.1 | 加工機械の開発 |
| 1.5.2 | 加工プロセスの解析 |
| 1.5.3 | φ300mmシリコンウェーハの加工例 |
| 1.5.4 | 無欠陥加工（CMG）への展開 |
| 1.6 | 超精密研削切断 |
| 1.6.1 | ブレードガイドを用いた研削切断システム |
| 1.6.2 | 切断実験 |
| 1.6.3 | 切断精度向上の原理 |
| 1.7 | 超精密センタレス研削 |
| 1.7.1 | 調整車レスによるセンタレス研削の高精度化 |
| 1.7.2 | 内径・外径マッチングセンタレス研削盤 |
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超精密研削のためのツルーイングとドレッシング |
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| 2.1 | 超精密研削に要求されるツルーイングとドレッシング |
| 2.1.1 | ツルーイングとドレッシング |
| 2.1.2 | 超精密研削に要求されるツルーイングとドレッシング |
| 2.2 | カップツルア |
| 2.2.1 | カップツルア開発のコンセプト |
| 2.2.2 | カップツルアの開発 |
| 2.2.3 | カップツルアのツルーイング機構 |
| 2.2.4 | マトリックス型ダイヤモンドホイールのツルーイング |
| 2.2.5 | アークツルア |
| 2.2.6 | 総形ツルーイング |
| 2.3 | 接触放電ツルーイング |
| 2.3.1 | 接触放電ツルーイング法の原理 |
| 2.3.2 | 単発放電実験による放電挙動の検討 |
| 2.3.3 | 接触放電ツルーイング装置 |
| 2.3.4 | 微粒ダイヤモンドホイールへの適用 |
| 2.4 | 超精密研削用メタルボンドダイヤモンドホイールのツルーイング |
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| 2.4.1 | 包絡線創成法によるツルーイング法の原理 |
| 2.4.2 | 計算機シミュレーションによるツルーイング精度の検討 |
| 2.4.3 | ツルーイング実験装置 |
| 2.4.4 | ツルーイング特性 |
| 2.5 | アブレイシブジェットドレッシング |
| 2.5.1 | 極微粒ホイールでの問題点 |
| 2.5.2 | マイクロAJMによるインプロセスドレッシングとスロットホイールの作成 |
| 2.5.3 | 砥粒層の除去率 |
| 2.5.4 | ドレッシング後のホイールの研削性能と摩耗特性 |
| 2.6 | 極微粒ダイヤモンドホイールのツルーイング，ドレッシング |
| 2.6.1 | 極微粒ダイヤモンドホイールでの問題点 |
| 2.6.2 | 極微粒ダイヤモンドホイール用GCツルア砥石の開発 |
| 2.6.3 | ツルーイング性能 |
| 2.6.4 | 砥粒切れ刃密度と研削性能の関係 |
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超精密研削による非球面加工 |
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| 3.1 | 非球面レンズおよびミラーの重要性 |
| 3.2 | ガラスプレス用金型の加工 |
| 3.2.1 | ガラスレンズのプレス成形 |
| 3.2.2 | ガラスプレス用超硬金型の研削 |
| 3.2.3 | 砥石送り速度制御法 |
| 3.3 | パラレル研削法 |
| 3.3.1 | 従来の非球面研削法の問題点 |
| 3.3.2 | パラレル研削法 |
| 3.3.3 | パラレル研削法による軸対称非球面金型の研削 |
| 3.4 | 非軸対称非球面（自由曲面）の研削 |
| 3.4.1 | 自由曲面の研削加工法と加工プログラムの開発 |
| 3.4.2 | 自由曲面研削加工システム |
| 3.4.3 | 鏡面研削砥石とツルーイング・ドレッシング技術 |
| 3.4.4 | 超硬合金製自由曲面金型の加工事例 |
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| 3.5 | 非球面の研削模様 |
| 3.5.1 | 金型加工面の加工模様 |
| 3.5.2 | 加工模様発生のメカニズム |
| 3.5.3 | 加工模様の解析 |
| 3.6 | 軌跡創成法による非球面光学素子の加工 |
| 3.6.1 | 軌跡創成法による球面光学素子の加工 |
| 3.6.2 | 非球面光学素子の加工法の現状 |
| 3.6.3 | 軌跡創成法による二次非球面光学素子の加工 |
| 3.6.4 | 軌跡補償法による高次非球面光学素子の加工 |
| 3.7 | マイクロ非球面研削 |
| 3.7.1 | マイクロ研削の問題点 |
| 3.7.2 | マイクロCGツルーイング，ドレッシング |
| 3.7.3 | マイクロ非球面金型の研削 |
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超精密切削による非球面加工 |
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| 4.1 | プラスチックレンズ用金型の加工 |
| 4.1.1 | プラスチックレンズの射出成形 |
| 4.1.2 | プラスチックレンズ成形の要点 |
| 4.1.3 | プラスチックレンズ用金型の加工 |
| 4.1.4 | プラスチックレンズおよび金型の例 |
| 4.2 | 非軸対称非球面金型の加工 |
| 4.2.1 | 非軸対称非球面形状を実現する超精密加工機 |
| 4.2.2 | 加工精度 |
| 4.2.3 | 工具摩耗 |
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| 4.2.4 | アップカットとダウンカット |
| 4.2.5 | 加工時の走査方向 |
| 4.2.6 | 加工事例 |
| 4.3 | 脆性結晶材料製非球面レンズの加工 |
| 4.3.1 | 平バイトによる延性モードの切削法 |
| 4.3.2 | 光学結晶の切削における脆性・延性遷移 |
| 4.3.3 | 脆性・延性遷移に対する工具すくい角の影響 |
| 4.3.4 | 光学結晶非球面レンズの超精密切削 |
| 4.3.5 | 光学結晶フレネルレンズの超精密切削 |
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超精密研磨による非球面加工 |
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| 5.1 | 超音波楕円振動を利用した金型研磨 |
| 5.1.1 | 超音波楕円振動を利用した金型研磨法の原理 |
| 5.1.2 | 加工システム |
| 5.1.3 | キャビティ内側面の研磨実験 |
| 5.1.4 | キャビティ内段差部の研磨実験 |
| 5.2 | 電気粘性(ER)流体援用による研磨 |
| 5.2.1 | マイクロ研磨加工の問題点 |
| 5.2.2 | 加工原理 |
| 5.2.3 | ER効果 |
| 5.2.4 | 研磨加工実験 |
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| 5.3 | 非球面の均等研磨 |
| 5.3.1 | 磁性流体利用による均等研磨 |
| 5.3.2 | ゲル状砥石を用いた均等研磨 |
| 5.4 | 非球面の修正研磨 |
| 5.4.1 | 微小工具を用いたコンピュータ制御研磨法による形状創成の原理 |
| 5.4.2 | 超音波振動微小工具を用いたコンピュータ制御研磨法による形状創成の原理 |
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超精密研削用ホイールと超精密切削用ダイヤモンドバイトの実際 |
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| 6.1 | 超精密研削用ホイール |
| 6.1.1 | アライドダイヤモンドのナノメイトとスーパフィニッシュ |
| 6.1.2 | 旭ダイヤモンドのCMP加工用パッドコンディショナ |
| 6.1.3 | 東京ダイヤモンドのT-REXと有気孔BLホイール |
| 6.1.4 | ノリタケの非球面レンズ金型加工用ダイヤモンドホイール |
| 6.1.5 | ニートレックスのアプラスホイール |
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| 6.1.6 | リードのDDCブレード |
| 6.2 | 超精密切削用ダイヤモンドバイト |
| 6.2.1 | 超精密単結晶ダイヤモンドバイトのコンセプト |
| 6.2.2 | 「ニューディバイト」とその性能 |
| 6.2.3 | 「UPC」とその性能 |
| 6.2.4 | 「UPC」の加工事例 |
| 6.2.5 | ナノマイクロフォーミングツールとその性能、可能性 |
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非球面加工機と成形加工機の実際 |
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| 7.1 | 超精密成形研削盤と非球面加工機 |
| 7.1.1 | 非球面加工機の歴史 |
| 7.1.2 | (株)ナガセインテグレックス製 超精密成形平面研削盤（ナノセンター） |
| 7.1.3 | 豊田工機(株)製 非球面加工機（ナノプロセッサーAHN05） |
| 7.1.4 | 東芝機械(株)製 非球面加工機（ULG100） |
| 7.1.5 | (株)不二越製 非球面加工機（ASP20） |
| 7.1.6 | ファナック(株)製 超精密ナノ加工機
（ROBONANOα-0iA） |
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| 7.1.7 | 欧米主要企業の非球面加工機 |
| 7.2 | 高精度ガラス成形機 |
| 7.2.1 | ガラスレンズの特長 |
| 7.2.2 | 高精度ガラス成形装置 |
| 7.2.3 | 成形条件 |
| 7.2.4 | 素材と金型 |
| 7.2.5 | 成形事例 |
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精密加工のためのナノ計測 |
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| 8.1 | 超精密加工における精密ナノ計測 |
| 8.2 | 反転法による精密ナノ計測 |
| 8.2.1 | 反転法による直線形状測定 |
| 8.2.2 | 反転法による真円度測定 |
| 8.3 | マルチプローブ法による精密ナノ計測 |
| 8.3.1 | マルチプローブ法による直線形状測定 |
| 8.3.2 | マルチプローブ法による真円度測定 |
| 8.4 | 非球面形状の精密ナノ計測 |
| 8.4.1 | 計測モデル |
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| 8.4.2 | 計測原理 |
| 8.4.3 | 計測実験 |
| 8.5 | 加工面形状のナノ計測の実際 |
| 8.5.1 | テーラホブソン(株)製 超精密形状と表面粗さの測定器（PGI1240） |
| 8.5.2 | 三鷹光器(株)製 非接触三次元測定器
（NH-3SP） |
| 8.5.3 | 松下電器産業(株)製 超高精度三次元測定機（UA3P） |
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| 索引 |
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