■開催日時：2024年04月11日(木) 10:30〜16:30
■会場：【WEB限定セミナー】※在宅、会社にいながらセミナーを受けられます
■定員：30名
■受講料：55,000円（税込、資料付き／1人）
※最新のセミナー情報を「配信可」にすると割引適用（登録無料）
会員（案内）登録していただいた場合、通常1名様申込で55,000円（税込）から
・1名で申込の場合、49,500円（税込）へ割引になります。
・2名同時申込で両名とも会員登録をしていただいた場合、計55,000円（2人目無料）です。
■備考：
資料付き
【LIVE配信セミナーとは？】
■主催：（株）R&D支援センター
■講師：
ソメイテック 代表 大薗 剣吾 氏
＜資格等＞
技術士（金属、機械部門）、一級機械保全技能士、応用情報技術者
＜学協会＞
日本技術士会(金属部会幹事)、加飾技術研究会(理事)
＜ご略歴＞
2003〜2005 東京大学大学院マテリアル工学修了
2005〜2016 凸版印刷株式会社
2017〜2022 技術士事務所ソメイテック
2020〜2022 BISAI株式会社
技術士の中でも数少ない「薄膜・表面プロセスの専門家」。大手印刷会社にて電子デバイス・半導
体・機能性フィルム技術に携わる。2017年よりソメイテックにて薄膜技術のコンサルティングを行う。
スパッタリング薄膜製品の設計、生産ラインの立上げ、品質改善などの豊富な経験を有する。薄膜技
術に関する教育にも携わっている。
■習得できる知識：
・スパッタリングの原理について理解を深めることができる
・スパッタリング薄膜の特性を制御する方法を学べる
・スパッタリング薄膜の実務のトラブル解決へのヒントが得られる
■趣旨：
スパッタリングは、エレクトロニクスをはじめとした様々なシーンで用いられる重要な技術で、近
年はさらに用途が拡大しています。しかし、量産技術をどのように確立し、品質をどのように改善す
るのかについてのノウハウはあまり知られていません。
本講座では、スパッタリング薄膜の原理・メカニズムを解説し、品質向上や密着性改善などの実務
課題への対応方法を具体的に解説します。実務上の問題についてのご質問もその場で回答します。ス
パッタリングの基礎を学びたい方はもちろん、実務エキスパートとして活躍されている方にも大変お
勧めです。
■プログラム：
≪基礎編≫
1．スパッタリング法の基礎
1-1．薄膜技術の基本を知る
1-2．スパッタリング法の特徴とその用途
1-3．スパッタリング装置の構成
1-4．スパッタリング工程の運用と管理方法
2．スパッタリング法の物理現象
2-1．物理現象を把握することの重要性について
2-2．スパッタリングの物理現象1（プラズマ放電）
2-3．スパッタリングの物理現象2（スパッタリング）
2-4．スパッタリングの物理現象3（組織形成）
2-5．スパッタリングの現象と制御パラメータの関係
3．スパッタリング薄膜の評価・分析技術
3-1．スパッタリング薄膜に求められる性能とは
3-2．あらゆる機能の基礎となる、膜厚・形状の測定
3-3．薄膜の性能を知るための、各種特性の測定・評価
3-4．特性の発現機構を明らかにする、結晶構造評価
3-5．不具合現象開明のための元素・状態分析
3-6．信頼性評価のための機械的性質・密着性評価
≪応用編≫
4．スパッタリング薄膜の特性安定化
4-1．特性実現と特性安定化という2つの課題
4-2．特性とパラメータの間にあるものを理解する
4-3．プロセスのばらつき・変動要因を理解する
4-4．プロセスのリアルタイム分析方法、データ解析事例
4-5．スパッタリング薄膜の特性安定化の重要ポイント
5．スパッタリング薄膜の密着性・信頼性改善
5-1．薄膜の密着と剥離のメカニズム
5-2．解析〜原因追究の手順
5-3．密着性改善・安定化のための具体的な手法
5-4．薄膜の信頼性の問題と対策
6．スパッタリング薄膜の微小欠陥・外観異常対策
6-1．スパッタリング薄膜の欠陥モード
6-2．スパッタリング薄膜の外観検査とモニタリング
6-3．ピンホール・付着異物の原因究明と対策
6-4．変色・しわ・しみの原因究明と対策
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