. .
セミナー・イベントTOPへ戻る


水の動きで読み解く半導体洗浄のポイント【LIVE配信】
〜〜大口径ウエハと微細パターンの扱い〜〜

■開催日時:2024年07月05日(金) 10:30〜16:30

■会場:【WEB限定セミナー】※在宅、会社にいながらセミナーを受けられます 

■定員:30名

■受講料:55,000円(税込、資料付き/1人)
※最新のセミナー情報を「配信可」にすると割引適用(登録無料)
会員(案内)登録していただいた場合、通常1名様申込で55,000円(税込)から
 ・1名で申込の場合、49,500円(税込)へ割引になります。
 ・2名同時申込で両名とも会員登録をしていただいた場合、計55,000円(2人目無料)です。

■備考:
資料付き
【LIVE配信セミナーとは?】

■主催:(株)R&D支援センター

■講師:
反応装置工学ラボラトリ 代表 博士(工学)
羽深 等 氏

【ご専門】
化学工学(反応工学)、半導体結晶ウエハ生産プロセス技術

【ご経歴等】
横浜国立大学名誉教授、化学工学会シニア会員、化学工学会エレクトロニクス部会長、応用物理学会
会員、日本結晶成長学会会員、米国化学会会員、米国電気化学会名誉会員、エレクトロニクス実装学
会会員、空気清浄協会会員、よこはま高度実装技術コンソーシアム理事長

■受講対象・レベル:
洗浄とは何かを学びたい初心者、洗浄に関わる要点をあらためて整理したい技術者、洗浄技術を初め
て指導・管理することになった管理者、将来の大口径・微細パターン洗浄の問題点を見抜きたい技術
者。

■必要な予備知識:
特に予備知識は必要ありません。
身近な流れ(蛇口から流れ落ちた水、川や雲の動きなど)を意識して眺めていただくと、役に立ちま
す。
「洗いたい場所に必要な量だけ薬液を届けること」を意識して下さい。

■習得できる知識:
以下のことが分かります。

・先端材料の洗浄方法を構成する要素
・半導体にとって「清浄」とは何か
・キレイにするための表面の取扱い方
・洗浄の水流と気泡の作り方、使い方と整え方
・微細パターン洗浄条件の盲点

■趣旨:
水の動きを軸に半導体洗浄を読み解き、基礎現象の理解から困った時の対策までポイントを1日で説
明します。
 半導体にとって「清浄・きれい」とは何かを意識し、水の流れを動画で眺めると、洗浄とは何を
どうする操作なのかが直感で分かります。ここでは、さまざまな薬液の役割を紹介し、乾燥の要点に
も触れた後、身近な流れの動画を見て感覚をつかみます。次に、大口径ウエハの枚葉式洗浄、バッチ
式洗浄の流れを可視化観察動画と数値シミュレーション事例で具体的に理解します。超音波や手動操
作で生まれる流れについても、流れと気泡の動画を見るとイメージが明確になります。今後、極めて
微細なパターンを洗浄する場合に見落としがちな事についても示して行きます。
 最後には、足元をすくわれた時の視点と対策のポイントを整理します。
 「洗いたい場所に必要な量だけ薬液を届けること」を意識して受講すると、特に効果があります。

■プログラム:
1. 洗う理由:汚れは何?いつ、どこからなぜやって来る?

2. 洗浄の4要素(温度、時間、化学、力学):力学が最も大切である理由

3. 半導体の洗浄に特有のこと(洗浄で実現したい状態)

4. 先端技術情報(半導体洗浄を取扱っている国際学会・国内学会)

5. 半導体洗浄の基礎現象(薬液と流れの効果)
   5-1. 化学で汚れを動かす操作:薬液の働き(付着・脱離・引き剥がす)と乾燥
   5-2. 力学で汚れを動かす操作:流れ、熱、拡散
   5-3. 装置内流れの種類(完全混合、押出流れ、境界層)
   5-4. 流れの可視化観察(「流れ」と「拡散」の感覚を動画で)

6. 洗浄機内の流れと反応
   6-1. 枚葉式洗浄機
      (1)水の流れの実例(実機の観察動画とシミュレーションの例)
      (2)ノズルのスイングを続ける工学的理由
      (3)化学反応の例(表面反応もここまで分かる)
   6-2. バッチ式洗浄機
      (1)水の流れの実例(実機の観察動画とシミュレーションの例)
      (2)水流を低コストで最適化した事例(入口と出口を変える)
      (3)上下揺動で流れを巻き込む
   6-3. 超音波の働き
      (1)水と気泡の動きの実例(実機の観察動画)

7. 洗浄結果の評価方法

8. 狭い空間の洗浄(盲点と工夫)

9. まとめ:困った時の視点と対策(境界層を壊そう!)

10. まとめ:困らないように(地球環境は壊さない!)


【質疑応答】

Copyright (C) 2024 NTS Inc. All right reserved.