■開催日時：2018年08月23日（木）10:30〜16:30
■会場：江東区産業会館 第1会議室
■定員：30名
■受講料：49,980円（税込、昼食・資料付き／1人）
※最新のセミナー情報を「配信可」にすると割引適用（登録無料）
割引受講料
47,250円（税込、昼食・資料付き／1人） 49,980円（税込、昼食・資料付き／2人）
主催者：（株）R&D支援センターからのセミナー・関連製品情報の配信を可とした際に、
割引適用いたします。
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■主催：（株）R&D支援センター
■講師：
ソメイテック 代表 アイアール技術者教育研究所 所長 大薗 剣吾 氏
＜資格等＞
技術士（金属部門）、一級機械保全技能士、応用情報技術者
＜学協会＞
表面技術協会(正会員)、日本技術士会(正会員)、加飾技術研究会(理事)
＜ご略歴＞
2003〜2005 東京大学大学院マテリアル工学修士
2005〜2016 凸版印刷株式会社
2017〜2018 ソメイテック（技術士事務所）、アイアール技術者教育研究所
技術士の中でも数少ない、「薄膜・表面プロセスの専門家」。大手印刷会社にて電子デバイス・
半導体・機能性フィルム技術に携わり、製品設計・設備導入・品質改善・コストダウンを経験。
新規の工場や生産ラインの立ち上げを複数経験。スパッタ・コーティング・エッチング・リソ
グラフィ・微細加工・金属加工技術を得意とする。２０１７年よりソメイテックにて化学系・
薄膜系の技術支援を開始。技術開発の支援、生産課題への助言、技術者教育に携わる。スパッタ
リングはバッチ式試作機から、インライン超大型量産機、ロールtoロール機等の立ち上げや改善を
経験し、薄膜特性の面内分布、密着性、微小欠陥、装置稼働率、コスト改善等を得意とする。
■習得できる知識：
・スパッタ薄膜の基礎から応用までを学べる
・スパッタ膜の物性をコントロールする方法を学べる
・薄膜の分析評価技術について知ることができる
・膜の密着性を改善するポイントが分かる
・スパッタ装置の生産性を高める方法を学べる
・スパッタ実務のトラブル解決へのヒントが得られる
■趣旨：
スパッタリングは、エレクトロニクスをはじめとした様々なシーンで用いられる重要な成膜
技術です。しかし、量産技術をどのように確立し、改善するのか？についてのノウハウはあまり
知られていません。本講座では、スパッタリング薄膜の品質の安定化、密着性改善、生産性向上、
トラブル対応など、実務上の重要ポイントを網羅的・具体的に解説します。スパッタリングの
基礎を学びたい方から実務エキスパートを目指す方まで、大変お勧めです。
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