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スパッタリング薄膜形成とトラブル対処のためのあらゆる知識やノウハウを分かりやすく解説します!

スパッタリング薄膜の基礎とプロセス改善、トラブル対策

■開催日時:2018年08月23日(木)10:30〜16:30

■会場:江東区産業会館 第1会議室

■定員:30名

■受講料:49,980円(税込、昼食・資料付き/1人)
※最新のセミナー情報を「配信可」にすると割引適用(登録無料)

割引受講料
47,250円(税込、昼食・資料付き/1人) 49,980円(税込、昼食・資料付き/2人)
主催者:(株)R&D支援センターからのセミナー・関連製品情報の配信を可とした際に、
割引適用いたします。
申込ページの「通信欄」に“配信可・Eメール” or “配信可・郵送” or 
“配信可・FAX”とご記入ください。

■主催:(株)R&D支援センター

■講師:
ソメイテック 代表 アイアール技術者教育研究所 所長 大薗 剣吾 氏

<資格等>
 技術士(金属部門)、一級機械保全技能士、応用情報技術者

<学協会>
 表面技術協会(正会員)、日本技術士会(正会員)、加飾技術研究会(理事)

<ご略歴>
 2003〜2005 東京大学大学院マテリアル工学修士
 2005〜2016 凸版印刷株式会社
 2017〜2018 ソメイテック(技術士事務所)、アイアール技術者教育研究所

 技術士の中でも数少ない、「薄膜・表面プロセスの専門家」。大手印刷会社にて電子デバイス・
半導体・機能性フィルム技術に携わり、製品設計・設備導入・品質改善・コストダウンを経験。
新規の工場や生産ラインの立ち上げを複数経験。スパッタ・コーティング・エッチング・リソ
グラフィ・微細加工・金属加工技術を得意とする。2017年よりソメイテックにて化学系・
薄膜系の技術支援を開始。技術開発の支援、生産課題への助言、技術者教育に携わる。スパッタ
リングはバッチ式試作機から、インライン超大型量産機、ロールtoロール機等の立ち上げや改善を
経験し、薄膜特性の面内分布、密着性、微小欠陥、装置稼働率、コスト改善等を得意とする。

■習得できる知識:
・スパッタ薄膜の基礎から応用までを学べる
・スパッタ膜の物性をコントロールする方法を学べる
・薄膜の分析評価技術について知ることができる
・膜の密着性を改善するポイントが分かる
・スパッタ装置の生産性を高める方法を学べる
・スパッタ実務のトラブル解決へのヒントが得られる
 
■趣旨:
 スパッタリングは、エレクトロニクスをはじめとした様々なシーンで用いられる重要な成膜
技術です。しかし、量産技術をどのように確立し、改善するのか?についてのノウハウはあまり
知られていません。本講座では、スパッタリング薄膜の品質の安定化、密着性改善、生産性向上、
トラブル対応など、実務上の重要ポイントを網羅的・具体的に解説します。スパッタリングの
基礎を学びたい方から実務エキスパートを目指す方まで、大変お勧めです。


≪基礎編≫

1.スパッタリング法の基礎
  1-1.薄膜の基本を押さえよう
  1-2.スパッタリング法と他の成膜技術との違いとは
  1-3.スパッタリング薄膜の用途と今後の展開について
  1-4.スパッタリング装置の構成を把握しよう
  1-5.スパッタリング工程の運用と管理について

2.スパッタリング法の物理現象
  2-1.物理現象を把握することの重要性
  2-2.スパッタリングの物理現象1(プラズマ放電)
  2-3.スパッタリングの物理現象2(スパッタリング)
  2-4.スパッタリングの物理現象3(組織形成)
  2-5.スパッタリングのパラメータを整理しよう

3.スパッタリング薄膜の評価・分析技術
  3-1.スパッタリング薄膜に求められる性能とは
  3-2.膜厚・形状の評価方法とポイント
  3-3.各種特性評価の方法とポイント
  3-4.元素・状態分析の方法とポイント
  3-5.結晶構造評価の方法とポイント
  3-6.機械的性質・密着性評価の方法とポイント

≪応用編≫

4.スパッタリング薄膜の特性安定化
  4-1.特性実現と特性安定化という2つの課題
  4-2.特性とパラメータの間にあるものを理解しよう
  4-3.プロセスのばらつき・変動要因について
  4-4.プロセスのリアルタイム分析の方法とポイント
  4-5.スパッタリング薄膜の特性安定化のポイント
  4-6.特性悪化トラブルシューティング 事例と対策

5.スパッタリング薄膜の密着性・信頼性確保
  5-1.薄膜の密着と剥離のメカニズム
  5-2.剥離解析からの原因追究のポイント
  5-3.信頼性評価・・密着性、機械的強度、各種試験
  5-4.スパッタリング薄膜の密着性確保のポイント
  5-5.密着性トラブルシューティング 事例と対策

6.スパッタリング薄膜の微小欠陥・外観異常対策
  6-1.スパッタリング薄膜の欠陥モード
  6-2.スパッタリング薄膜の外観検査とモニタリング
  6-3.ピンホール・付着異物の原因究明と対策
  6-4.変色・しわ・しみの原因究明と対策
  6-5.外観トラブルシューティング 事例と対策

7.スパッタリング工程の生産性改善
  7-1.スパッタリング工程の原価を把握しよう
  7-2.スパッタリング工程のコスト改善手法
  7-3.スパッタリング工程の運用体制と稼働率
  7-4.スパッタリング工程の稼働率改善法
  7-5.メンテナンスを安全化しよう
  7-6.生産性改善アプローチの事例

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