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【オンラインLive配信・WEBセミナー】
MEMS加工技術の基礎と医用・ヘルスケア・医療機器への応用展開


■日時:2021年09月27日(月) 13:30〜17:00

■会場:※会社やご自宅のパソコンで視聴可能な講座です
※ お申込み時に送られるWEBセミナー利用規約・マニュアルを必ず、ご確認ください。

■定員:30名

■受講料:44,000円(税込、資料作成費用を含む)
 ※複数でのご参加を希望される場合、お申込み追加1名ごとに¥11,000加算となります

■主催:(株)AndTech

■講師:
第1講 広島市立大学 情報科学研究科 医用情報科学専攻・教授 博士(工学) 
    式田 光宏 氏
第2講 東北大学大学院 医工学研究科 医工学専攻 ナノデバイス医工学分野 教授 (兼) 
    大学院工学研究科 ロボティクス専攻 
    芳賀 洋一 氏


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第1講 MEMS加工技術の基礎とその最新応用展開


【講演キーワード】
MEMS、フレキシブルセンサ、医用応用、ヒューマンインターフェイス

 
【講演趣旨】
 MEMSは「微小化」というキーワードを基に、従来にはない機能、そして高付加価値なシステムを
実現できる学際領域の技術分野になります。本講義では、最初にMEMS技術の面白さ及び難しさを
理解して頂くことを目的として、MEMS技術の歴史的発展経緯を簡単に紹介し、その後、MEMSに
おける加工基盤技術及びそれのデバイス応用について説明します。具体的には、MEMS技術の産業、
医用応用などについて幅広くわかり易く解説します。

 
【プログラム】
1.MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)技術
 1-1 MEMS技術の歴史及び特徴
 1-3 MEMSデバイス・システム例
2.MEMS加工基盤技術
 2-1 ホトリソグラフィー技術
 2-2 エッチング・薄膜形成技術
 2-3 スケール効果
3.銅張積層板を用いたMEMSフレキシブルセンサと信号処理回路との一体化構造
 3-1 銅張積層板を用いたMEMSフレキシブルセンサの構造・作製及び実装プロセス
 3-2 フレキシブル形態でのMEMSセンサと信号処理回路の一体化
4.MEMSフレキシブルセンサの産業応用例
 4-1 MEMS流量センサの大規模空調システムへの応用
 4-2 MEMS熱式センサを用いた加速度・壁面せん断応力計測デバイスへの応用
5.MEMSフレキシブルセンサの医用応用例
 5-1 肺内部でのその場計測を可能とするMEMS流量センサ(生体情報極限計測)
 5-2 実験動物用埋め込みMEMSセンサデバイス(薬物投与時の副作用評価デバイス)
 5-3 口元気流計測によるバイタルサイン計測(口元気流による呼吸心拍同時計測の実現)
6.MEMS技術のインターフェイスデバイス応用例
 6-1 フレキシブル力センサデバイス
 6-2 マイクロニードルを用いた次世代経皮吸収製剤応用(薬剤投与デバイス)

【質疑応答】

 
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第2講 MEMS技術によるヘルスケア・医療機器への応用展開


【プログラム】
現在考案中です。

【質疑応答】

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