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弾性表面波(SAW)デバイスと材料の技術動向
 


■開催日時:2019/06/27(木)  10:30〜16:30

■会場:連合会館 502会議室 東京都千代田区神田駿河台3-2-11

■受講料:
49,800円 (Eメール案内登録価格:1名47,300円,2名49,800円,3名74,700円)
※資料付
※Eメール案内登録(無料)される方は、通常1名様49,800円から
 ★1名で申込の場合、47,300円
 ★2名同時申込の場合は、2名様で49,800円(2人目無料)
 ★3名同時申込の場合は、3名様で74,700円

備考
  ※2名同時申込は同一法人内に限ります。
  ※2名様ご参加は2名様分の参加申込が必要です。
    ご連絡なく2名様のご参加はできません。
  ※3名様以上のご参加は、追加1名様あたり10,800円OFFになります。

■主催:S&T出版

■講師:
門田 道雄 氏
東北大学大学院 工学研究科 ロボティクス専攻 シニアリサーチフェロー
【略歴】
東北大学工学研究科終了後、1974年村田製作所入社。1994 年東北大学より工学博士(論文)。2005年同社フェロー
(役員待遇)。2013年1月同社退職。同年2月東北大学客員教授、2014年8月同特任教授。2018年4月同
シニアリサーチフェロー。村田製作所在職時、世界で唯一実用化に成功した酸化亜鉛薄膜を用いた
テレビ用弾性表面波フィルタをはじめ(この成功がなければ今の村田製作所の弾性表面波の事業はない
という重要な実用化成功)、横波型弾性表面波の端面反射を利用した超小型ETC用フィルタ
(今でもシェア100%)及びTV用補助トラップ共振子、高密度電極と水晶を用いた温度特性良好で
超小型な携帯電話用フィルタ、平坦化SiO2膜/高密度電極/圧電基板構造の温度特性(いわゆるTCSAW)の
良好な小型なスマートフォン用弾性表面波デュプレクサ(このデュプレクサはその後同業にも
クロスライセンスされ、世界の同業でも生産されている)等、世界初の数多くの各種弾性表面波デバイスの
開発と実用化に成功。

■趣旨:
 弾性表面波(SAW)は小形、軽量、周波数無調整、高信頼性、高周波化対応可能等の特徴を持つ。SAWの民生用への
応用はテレビの映像中間周波数(VIF)用フィルタが最初で、その後SAWデバイスは自動車電話、コードレス電話、
ペジャ用などへの応用を経て、今や携帯電話、スマートフォンに欠かせない重要な部品となっている。特に近年、
スマートフォンの普及による周波数の混雑対策として、(1)急峻な特性と良好な温度特性をもつフィルタ、
(2)第5世代用等、より高周波フィルタの要求など、ますますSAWフィルタへの期待が高くなっている。
 講演者は、VIF用SAWフィルタの開発後、11年間製造現場に従事してその実用化に成功し、その後、異動した
開発部門では、多くの特徴ある世界初の移動帯通信用SAWデバイスの開発・実用化に成功した。東北大に異動後は、
板波を用いた、高周波デバイスや超広帯域なデバイス、LiTaO3薄板と水晶基板を用いた高Q、ゼロTCF,
スプリアスフリーのデバイスに開発に成功している。本講演者は、このように、SAWの研究の黎明期から現在に
至るまで、SAWの開発・実用化・製造に取り組んできている。これらの経験を活かし、SAWデバイス開発・実用化・
製造現場での成功の要因や苦労話などをもり込みながら、SAWの原理、SAWの種類、SAW用材料、SAWデバイスの種類、
なぜこのような開発テーマを考えたかなどの開発テーマの出し方、今後のSAW技術の動向、技術者に期待される
要因等について講演する。

■受講対象者	
○これからSAWを勉強しようとする人
○SAW関係セールスエンジニア
○SAW開発担当者
○SAW実用化担当者
○SAW製造担当者

■学べる事	
○SAWの原理
○SAW用材料
○各種SAWデバイスとその原理、応用例
○一般的なSAW知識
○技術開発・実用化の進め方の具体例
○開発テーマを考えた具体例
○技術者に期待されること



1.SAWの原理
 1-1 SAWとは
 1-2 SAWとバルク波の違い
 1-3 SAWの励振

2.SAWの種類
 2-1 レイリー波
 2-2 漏洩弾性波
 2-3 縦波型漏洩弾性波
 2-4 セザワ波
 2-5 BGS波
 2-6 ラブ波
 2-7 板波(ラム波、SH波)
 2-8 層状構造弾性波
 2-9 境界波

3.SAWの解析方法
 3-1 Campbell−Joneの方法
 3-2 FEM

4.SAW用材料
 4-1 セラミック(PZT等)
 4-2 薄膜(ZnO等)
 4-3 単結晶(LiTaO3,LiNbO3,水晶、LBO,ランガサイト等)

5.SAWデバイスの種類
 5-1 トランスバーサル型フィルタ
 5-2 SAW共振子
 5-3 縦波型共振子フイルタ
 5-4 横波型共振子フィルタ
 5-5 境界波共振子・フィルタ
 5-6 ラダーフィルタ
 5-7 他

6.SAWデバイスの開発・実用化例
 6-1 トランスバーサル型フィルタ(テレビVIF用)
 6-2 共振子(レイリー波、漏洩弾性表面波、BGS波、境界波等)
 6-3 縦結合共振子フィルタ(IFフィルタ、RFフィルタ)
 6-4 横結合共振子フィルタ(IFフィルタ)
 6-5 ラダー型フィルタ(RFフィルタ、デュプレクサ)
 6-6 広帯域板板波共振子、フィルタ(キャビティ型、音響多層膜型)
 6-7 高周波板波(ラム波)共振子
 6-8 高QSAW共振子

7.実用化にいたらなかったSAWデバイスの例とその要因
 7-1 音響光学偏向素子
 7-2 音響光学波長可変フィルタ
 7-3 ゼロ温度特性をもつSAWデバイス
 7-4 他

8.今後の動向

9.技術者として期待されること

         【質疑応答】

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