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デバイスの高性能化に不可欠な高品質な半導体材料を得るための「結晶成長技術」を紹介 |
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次世代の各種ポストシリコン半導体を材料別に詳述 |
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斯界一流の執筆陣による最新の知見を掲載 |
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2013年6月 |
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本体44,000円+税 |
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556頁 |
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B5 |
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ISBN 978-4-86469-059-1 |
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結晶性半導体ナノ薄膜の成膜と電子物性に関する物質科学 |
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ポストシリコン半導体ナノ薄膜結晶成長と構造電子物性制御 |
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結晶成長・成膜法 |
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評価・解析 |
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結 び 〜次世代半導体が拓くエレクトロニクス展望〜 |
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ポストシリコン半導体 〜ナノ成膜ダイナミクスと基板・界面効果〜 |
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