応用物理
デバイスの高性能化に不可欠な高品質な半導体材料を得るための「結晶成長技術」を紹介
次世代の各種ポストシリコン半導体を材料別に詳述
斯界一流の執筆陣による最新の知見を掲載
 
2013年6月
本体44,000円+税
556頁
B5
ISBN 978-4-86469-059-1
 
執筆者 計57名

 

結晶性半導体ナノ薄膜の成膜と電子物性に関する物質科学

ポストシリコン半導体ナノ薄膜結晶成長と構造電子物性制御

結晶成長・成膜法

評価・解析

結 び 〜次世代半導体が拓くエレクトロニクス展望〜
 
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