応用物理
超高真空に関する様々な論文を紹介しながら検討し、従来の真空技術に対する理論を基に、著者自身が実践を経て、有効なもの、注意が必要な技法、材料などを、丁寧に解説。研究者はもちろん、これから真空の研究を始める学生等にも役立つ一冊。
 
 
 
PDF形式のファイルをご覧いただくには、お使いのブラウザにAcrobat Readerがインストールされている必要があります。
 
Maruzen eBook Library にて《電子試読》ができます
 
電子書籍(ダウンロード版)のご注文
※Knowledge Worker(丸善雄松堂(株)運営)へ移動します
 
 
2017年4月24日
本体35,000円+税
338頁
B5
(株)エヌ・ティー・エス
ISBN 978-4-86043-479-3 c3053
 
執筆者: 吉村 長光

キーワード

チャンバー壁面のガス放出機能と真空ポンプの排気機能との類似性

表面による残留ガスの収着と表面からのガスの脱離

ガス放出量の測定方法

ガス放出量や透過係数などのデータ

電子励起ガス脱離と光励起ガス脱離

微小電子プローブ照射で起こるコンタミネーションの堆積

分子流コンダクタンスとガスフローパターン

分子流ネットワーク解析

スパッタイオンポンプとゲッターポンプの基礎

スパッタイオンポンプの開発

超高真空ゲージとマススペクトロメータ

振動の少ない超高真空油拡散ポンプと関連機器の開発

スイッチオーバー排気時に耐性を示す,ダイナミックな排気系
  各章のキーワード集
  むすび
 
 
 
※購入方法について
 
 
レビュー 超高真空技術の新展開 
〜数式による解析から真空回路・分子流ネットワークへ〜
Copyright (C) 2017 NTS Inc. All right reserved.