| 岡崎 信次 | | 元 ギガフォトン株式会社 技術顧問 |
| 柴崎 祐一 | | 株式会社ニコン半導体装置事業部開発統括部 統括部長/フェロー |
| 松永 隆 | | ギガフォトン株式会社知的財産部 執行役員知的財産部長 |
| 太田 毅 | | ギガフォトン株式会社レーザ開発部 担当部長 |
| 渋谷 眞人 | | 東京工芸大学工学部 教授 |
| 林 直也 | | 大日本印刷株式会社ファインオプトロニクス事業部 フェロー |
| 斉藤 康子 | | エーエスエムエル･ジャパン株式会社プライオン部門 マネジャー |
| 石原 直 | | 東京大学大学院工学系研究科 上席研究員 |
| 宮崎 順二 | | エーエスエムエル･ジャパン株式会社テクノロジーデベロップメントセンター ディレクター |
| 渡邊 健夫 | | 兵庫県立大学高度産業科学技術研究所極端紫外線リソグラフィ研究開発センター 所長/センター長/教授 |
| 溝口 計 | | ギガフォトン株式会社 代表取締役副社長/CTO/研究部長 |
| 斎藤 隆志 | | ギガフォトン株式会社EUV開発部 常務執行役員EUV開発部長 |
| 山崎 卓 | | ギガフォトン株式会社EUV開発部 副部長 |
| 笑喜 勉 | | HOYA株式会社ブランクス事業部第2技術開発部 Principal |
| 小寺 豊 | | 凸版印刷株式会社総合研究所 課長 |
| 東木 達彦 | | 東芝メモリ株式会社メモリ技術研究所プロセス技術研究開発センター 技監 |
| 森本 修 | | キヤノン株式会社光学機器事業本部半導体機器第三PLMセンター半導体機器NGL24設計室 室長 |
| 法元 盛久 | | 元 大日本印刷株式会社研究開発センター 主幹研究員 |
| 河野 拓也 | | 東芝メモリ株式会社メモリ技術研究所プロセス技術研究開発センタープロセス技術開発第二部プロセス技術第二グループ グループ長 |
| 中川 勝 | | 東北大学多元物質科学研究所 教授 |
| 小林 幸子 | | 東芝メモリ株式会社 |
| 山田 章夫 | | 株式会社アドバンテストナノテクノロジー事業本部 |
| 中山田 憲昭 | | 株式会社ニューフレアテクノロジー描画装置技術部 グループ長 参事 |
| 山下 浩 | | 株式会社ニューフレアテクノロジー描画装置技術部ビーム制御技術グループ 参事 |
| 永原 誠司 | | 東京エレクトロン株式会社CTSPS BU シニアマネージャー/チーフサイエンティスト |
| 東 司 | | 株式会社先端ナノプロセス基盤開発センターDSA研究グループ 部長 |
| 清野由里子 | | 東芝メモリ株式会社メモリ技術研究所プロセス技術研究開発センタープロセス技術開発第二部プロセス技術第二担当 参事 |
| 上野 巧 | | 信州大学ファイバーイノベーション・インキュベータ 特任教授 |
| 下畠 孝二 | | 富士フイルム株式会社エレクトロニクスマテリアルズ事業部 技術担当部長 |
| 成岡 岳彦 | | JSR株式会社精密電子研究所半導体材料開発室 主任研究員 |
| 中川 恭志 | | JSR株式会社精密電子研究所半導体材料開発室 研究員 |
| 鳥海 実 | | 境界科技研 所長 |
| 八重樫英民 | | 東京エレクトロン株式会社パターニングソリューションプロジェクト チーフエンジニア |
| 野尻 一男 | | ラムリサーチ株式会社 取締役/フェロー |
| 杉本 有俊 | | 株式会社日立ハイテクノロジーズ電子デバイスシステム事業統括本部 コーポレートアドバイザ |
| 白崎 博公 | | 玉川大学名誉教授 |
| 大田 昌弘 | | 株式会社島津製作所分析計測事業部X線/表面ビジネスユニット プロダクトマネージャー |
| 伊藤 義泰 | | 株式会社リガクＸ線研究所 主任技師 |
| 江刺 正喜 | | 東北大学マイクロシステム融合研究開発センター センター長/教授 |
| 戸津健太郎 | | 東北大学マイクロシステム融合研究開発センター 准教授 |
| 鈴木裕輝夫 | | 東北大学マイクロシステム融合研究開発センター 助手 |
| 小島 明 | | 東北大学マイクロシステム融合研究開発センター 研究員 |
| 池上 尚克 | | 東北大学マイクロシステム融合研究開発センター 研究員 |
| 宮口 裕 | | 東北大学マイクロシステム融合研究開発センター 研究員 |
| 越田 信義 | | 東京農工大学大学院工学府 特別招へい教授 |
| 寒川 誠二 | | 東北大学流体科学研究所/原子分子材料高等研究機構 教授 |
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