積層部品セラミックグリーンシート成形技術入門

1.シート成形前工程
 1-1 素原料紛混合
  1-1-1 素原料紛の選定
  1-1-2 ボールミル湿式混合
 1-2 素原料スラリーの乾燥
 1-3 仮焼
 1-4 ボールミル湿式粉砕
 1-5 分散
  1-5-1 設備・条件
  1-5-2 バインダー選定
  1-5-3 可塑剤選定
 1-6 脱泡(粘度調整)
 
2.シート成形工程
 2-1 バインダー量・可塑剤量適正化
 2-2 シート密度・空隙率
 2-3 スラリーの管理
 2-4 シート成形機
  2-4-1 ダム構造
  2-4-2 スラリー液面制御
  2-4-3 スラリー性状
  2-4-4 乾燥ゾーン
  2-4-5 キャリアフィルム
  
3.シート成形後工程
 3-1 ビアホール形成
 3-2 内部配線印刷
  3-2-1 導電ペーストの選定
  3-2-2 耐シートアタック性
  3-2-3 印刷スクリーンの仕様選定・管理
  3-2-4 スキージの選定・管理
 3-3 積層・圧着
  3-3-1 積層位置合わせ手段
  3-3-2 圧着条件
 3-4 切断
 3-5 焼成
  3-5-1 温度プロファイル
 3-6 端子電極形成
 
4.周辺技術
 4-1 クリーン環境
  4-1-1 クリーン度
  4-1-2 温度・湿度
 4-2 解析・評価技術
  4-2-1 表面分析
   4-2-1-1 SEM/EDS
   4-2-1-2 EPMA
  4-2-2 マイクロフォーカスX線透視装置
  4-2-3 超音波探傷/超音波イメージング装置
  
5.特許出願の推進
 5-1 利用関係
 5-2 「製造方法」の出願例
 5-3 「もの」の出願例
 5-4 「製造設備」の出願例
 
6.まとめ

 
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