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はじめに |
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クリーン化技術の基礎知識 |
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| 1.1 | クリーン化と異物・塵埃 |
| (1) | 微粒子と異物の定義 |
| (2) | クリーンルームの考え方 |
| (3) | クリーンルームの表示 |
| (4) | 発塵の考え方 |
| (5) | 塵埃対策に対する考え方 |
| (6) | 語源で見る塵埃と清浄の大きさと持つ意味 |
| (7) | PM2.5に見る、浮遊粒子の形状 |
| (8) | SPMとPM2.5 |
| (9) | 除塵対象の大きさのイメージ |
| (10) | クリーンルームへの外気の導入 |
| (11) | クリーンルーム建設時の簡単なポイント |
| (12) | クリーンルームの簡単な説明 |
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| (13) | クリーンルームの役割 |
| (14) | クリーン化の4原則 |
| 1.2 | 異物や塵埃の動き |
| (1) | 製造現場で見かける異物・塵埃 |
| (2) | 準クリーンルーム・一般作業室内へ侵入する塵埃 |
| 1.3 | 塵埃の6大特徴 |
| 1.4 | 塵埃の発生由来と付着・吸着の形態 |
| 1.5 | 作業環境での発塵源 |
| 1.6 | 化学汚染の基本について |
| 1.7 | HEPAフィルターについて |
| 1.8 | 先端クリーン化技術の中核を支えるミニエンの基礎知識 |
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データでみる異物や塵埃の動き |
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| 2.1 | 通行人数と塵埃付着数 |
| 2.2 | Class10000クリーンルームでの塵埃 |
| 2.3 | 塵埃の大きさと相関性 |
| 2.4 | 各気流速度における塵埃の落下と移動 |
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| 2.5 | 粒子の大きさと落下時間 |
| 2.6 | 気流による渦の発生 |
| 2.7 | 扉の開閉による気圧の変化 |
| 2.8 | 錆びた金属棒からの金属片の落下 |
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発塵性の評価データとその意味 |
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| 3.1 | パッケージエアコン(PAC)からの塵埃飛散 |
| 3.2 | 材質の組合せによる発塵 |
| 3.3 | 色々な紙類からの発塵 |
| 3.4 | 皮膚からの発塵 |
| 3.5 | 素手からの発塵とハンダペーストからの発塵 |
| 3.6 | こんな濁音が聞こえると発塵源 |
| 3.7 | 身の回りの発塵物質 |
| 3.8 | Class1000レベルのクリーンルーム内の塵埃 |
| 3.9 | 喫煙時の発塵 |
| 3.10 | 床面からのパーティクルの舞い上がり |
| 3.11 | 通常の衣服生地の外観比較 |
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| 3.12 | 導電性手袋からの発塵 |
| 3.13 | 作業手袋からの発塵 |
| 3.14 | 化粧品やアクセサリーについて |
| 3.15 | 通常の紙類や鉛筆について |
| 3.16 | 簡易ミニエンのフィルターの効果 |
| 3.17 | エアブローと粘着ローラー異物・塵埃の除去効果の比較 |
| 3.18 | 生地に付着した微粒子のエアブローと粘着ローラーの除去効果の比較 |
| 3.19 | 電子部品チップのトレー上の異物 |
| 3.20 | リードフレーム用マガジンからの発塵 |
| 3.21 | 大気中浮遊塵埃の付着 |
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無塵服からの発塵 |
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| 4.1 | 無塵服服に求められる機能 |
| 4.2 | 無塵服各部からの発塵 |
| 4.3 | 組立工程の2ピース無塵服からの発塵 |
| 4.4 | 市販の高清浄度のクリーンルームに対応する無塵服 |
| 4.5 | 各作業動作で発生する無塵服内外の圧力差 |
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| 4.6 | アメニティを追及したコンポジット系無塵服の評価 |
| 4.7 | 無塵服の各部からの発塵 |
| 4.8 | 自宅洗濯化を前提とした洗濯時の発塵評価 |
| 4.9 | 導電性無塵服の洗濯回数と表面抵抗値の変化 |
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拭き取り材について |
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| 5.1 | 拭き取り材の機能 |
| 5.2 | 拭き取り材(ワイピングクロス) |
| 5.3 | ワイピングクロスの選定のポイント |
| 5.4 | 織布タイプのワイピングクロスの帯電 |
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| 5.5 | マイクロファイバータイプの形状と帯電 |
| 5.6 | マイクロファイバータイプの拭き取り性能 |
| 5.7 | 屋外曝露時付着異物の拭取り除去率 |
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静電気について |
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| 6.1 | 静電気の基礎 |
| 6.2 | 静電気の3原則 |
| 6.3 | 静電気の基本事項 |
| 6.4 | 人体帯電と電撃の強さ |
| 6.5 | 静電気の摩擦帯電列 |
| 6.6 | 静電気対策の基本となる減衰時間 |
| 6.7 | 静電気対策品の抵抗値の範囲 |
| 6.8 | 静電気と湿度の関係 |
| 6.9 | 作業台周りの静電気対策のコンセプト |
| 6.10 | 無塵服着用時の腕振り歩行動作による人体の帯電 |
| 6.11 | カーペット上、靴の種類と人体帯電圧 |
| 6.12 | ネジ締め作業動作時の帯電電位 |
| 6.13 | 乾空によるプラスチックチューブ材の帯電 |
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| 6.14 | 一般作業服の摩擦帯電比較 |
| 6.15 | 器具備品の静電気対策例 |
| 6.16 | 椅子の静電気対策 |
| 6.17 | 掲示板の帯電電位 |
| 6.18 | ボールペンとキングファイルの静電気 |
| 6.19 | 非導電床での台車走行時の帯電量 |
| 6.20 | 手押し台車のチェーン取り付け効果 |
| 6.21 | 静電気で吸着した塵埃の吸着力 |
| 6.22 | ESAによるパーティクルの付着 |
| 6.23 | イオナイザー選定時の留意点 |
| 6.24 | イオナイザーの保守・点検 |
| 6.25 | エミッター針への粒子付着 |
| 6.26 | 静電気管理基準値のガイドライン |
| 6.27 | 現場での静電気対策の基本 |
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製造ラインのクリーン化 |
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| 7.1 | クリーンルーム機能以外のクリーン化 |
| (1) | クリーンルームの効果的な維持・管理の基本 |
| (2) | クリーンルームと一般作業室との比較 |
| (3) | 最低限必要な局所クリーン化のコンセプト |
| (4) | 準クリーンルーム・一般作業室におけるクリーン化のアプローチ |
| (5) | 準クリーンルーム・一般作業室におけるクリーン化のガイドライン |
| (6) | SPCクラスと作業室のクリーン化グレードとの関係 |
| (7) | 一般室のクリーン化対策ガイドラインに基づく実施項目 |
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| 7.2 | 製造現場でのクリーン化技術 |
| (1) | 持ち込み品の管理 |
| (2) | ゴミ(塵埃)が見つかり易いところ |
| (3) | 装置と設備の配置と注意点 |
| (4) | 製造装置や関連設備の注意項目と保全 |
| (5) | 現場で役立つクリーン化標語 |
| (6) | 一般作業室のクリーン化改善事例 |
| (7) | 改善すべき作業者の服装および足の置き方 |
| (8) | 簡易ミニエンブースの導入事例 |
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作業員の教育 |
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| 8.1 | 作業員の教育の基本 |
| (1) | クリーン化に求められる姿勢 |
| (2) | クリーン化教育の重要項目 |
| (3) | クリーンルームに入ってはいけない人とは |
| (4) | 作業員の衛生管理の基本 |
| (5) | クリーンルームの日常管理 |
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| 8.2 | 6Sの見直しと新6S |
| (1) | 6Sの定義と見直し |
| (2) | 新6Sの定義に基づく整理とは |
| (3) | 新6Sの定義に基づく整頓とは |
| (4) | 新6Sの定義に基づく躾・習慣とは |
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クリーン化のソフト対策 |
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清掃の基本 |
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| 10.1 | 清掃の基本と考え方 |
| 10.2 | 清掃の種類と用具、評価 |
| 10.3 | 掃除方法の基本 |
| (1) | 上から下へ |
| (2) | 奥から手前へ |
| (3) | 隅や狭い面から |
| (4) | まず大きなチリ・ホコリ取り |
| (5) | 拭き取り痕がないように掃除する |
| (6) | 汚れの種類で洗剤を変える |
| (7) | その他 |
| 10.4 | 清掃のその他のチェックポイント |
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| (1) | 掃除用具の取り扱いおよび点検・管理の仕方 |
| (2) | 工具箱・工具のチェック |
| (3) | 搬入装置の梱包解きと拭き取り作業 |
| 10.5 | 掃除の原則と周期 |
| 10.6 | 各拭き取り方法の効果 |
| 10.7 | 一方向と往復拭き取りの違い |
| 10.8 | 清掃後の異物・塵埃のチェック |
| 10.9 | LED光源を用いた異物・塵埃の見え方 |
| 10.10 | 塵埃のモニタリングおよび可視化の方法 |
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クリーン化改善委員会について |
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| 1. | 肘からの発塵 |
| 2. | 袖部からの発塵 |
| 3. | 溶着無塵手袋からの発塵 |
| 4. | 軍手からの発塵 |
| 5. | 軍手からの発塵(滑り止め付き) |
| 6. | 導電性手袋からの発塵 |
| 7. | 拭き取り材(不織紙)からの発塵 |
| 8. | タオルからの発塵 |
| 9. | ノート端面からの発塵 |
| 10. | 段ボール片からの発塵 |
| 11. | 普通紙からの発塵 |
| 12. | ペットボトル上のタバコ煙の動き |
| 13. | ペットボトル上のタバコ煙の動き(図55) |
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| 14. | プラスチック箱への釘打ち込み時の発塵 |
| 15. | 無塵服頭部からの発塵 |
| 16. | ワイシャツからの発塵 |
| 17. | 靴下からの発塵 |
| 18. | モップによる掃除の塵埃舞い上がり |
| 19. | ポンピングによる発塵 |
| 20. | FFUからの気流の可視化 (クリーンルーム機能) |
| 21. | 繊維屑の浮遊 |
| 22. | 密閉空間内での塵埃の動き |
| 23. | 足踏み時の床からのガラスビーズの 舞い上がり |
| 24. | クリーンルーム用手袋の異物付着 |
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