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| 好評を博した「薄膜作製応用ハンドブック」を大幅改訂。重要な薄膜作製技術および評価技術、広範囲にわたる各種産業への応用をわかりやすく、実務的な感覚で記述。また技術内容の変化･高度化に伴って構成･項目を一新。注目される有機バイオデバイス、カーボンナノチューブについても詳述した。巻末にはキーワード索引、略語索引、化学式索引、評価方法と評価対象の一覧を掲載し、抜群の利便性を誇る。 |
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2003年4月22日 |
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本体65,000円＋税 |
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1448頁 |
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B5判 上製 |
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| ISBN4-86043-019-0 |
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【監修者】
權田 俊一 大阪大学名誉教授・福井工業大学宇宙通信工学科教授 |
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【編集委員】(五十音順)
小川 正毅 日本電気(株)研究企画部エグゼクティブエキスパート
多賀 康訓 (株)豊田中央研究所フェロー・第一特別研究室長 |
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【編集協力委員】
八瀬 清志 産業技術総合研究所光技術研究部門副部門長 |
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(執筆者全178名) |
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薄膜材料の特性と特徴 |
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薄膜・表面・界面の分析と評価 |
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| 1. |
薄膜の特徴と特性 |
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1. |
薄膜・表面・界面の分析・評価 |
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| 2. |
薄膜材料の電気特性 |
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2. |
薄膜分析・評価対象各論 |
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| 3. |
薄膜材料の磁気特性 |
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| 4. |
薄膜材料の光学特性 |
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| 5. |
薄膜材料の力学特性 |
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| 6. |
薄膜材料の化学特性 |
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薄膜の作製と加工 |
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薄膜技術の応用と展望 |
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| 1. |
基板と表面処理 |
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1. |
半導体デバイス |
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| 2. |
PVD法 |
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2. |
光部品 |
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| 3. |
CVD法 |
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3. |
ディスプレイ |
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| 4. |
ALE法 |
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4. |
記録 |
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| 5. |
液相成長法 |
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5. |
センサ |
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| 6. |
塗布・ゾル−ゲル法 |
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6. |
マイクロマシン |
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| 7. |
ナノ構造作製法 |
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7. |
環境エネルギー |
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| 8. |
有機・高分子・生体関連薄膜作製法 |
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8. |
有機バイオデバイス |
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| 9. |
パターン化技術 |
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9. |
DLC膜とカーボンナノストラクチャー |
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| 10. |
薄膜の加工/改質技術 |
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●キーワード索引 |
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●略語索引 |
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●化学式索引 |
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●評価方法と評価対象一覧 |
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