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電池(二次電池、燃料電池、太陽電池)・エネルギー・エレクトロニクスに必須技術 |
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薄膜技術を実学として捉え実用薄膜プロセスとして理解する新しい考え方を提示。 |
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実用化を想定して、薄膜作製プロセス(第一編)、発現する機能と応用(第二編)、実用を視野にいれた薄膜作成実例を紹介し、詳しく解説(第三編)。 |
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最先端技術を先導する第一線の研究開発者により実用薄膜による機能創製から応用展開まで広く網羅。 |
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2009年8月17日 |
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本体47,400円+税 |
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428頁 |
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B5 |
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技術教育出版社 |
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ISBN978-4-907837-18-1 |
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編 集 多賀 康訓・齋藤 文良 |
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執筆者 計24名 |
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第1編 創製技術 |
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機能薄膜プロセス技術 |
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真空蒸着法 |
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分子線エピタキシ法 |
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第2編 物性と構造 |
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機能構造の成長 |
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形態制御機能薄膜 |
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半導体薄膜の物性と構造 |
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誘電体薄膜の物性と構造 |
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磁性薄膜の物性と構造 |
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光学薄膜の物性と構造 |
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力学薄膜の物性と構造 |
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界面制御 |
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第3編 応用技術・開発事例 |
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機能薄膜応用―研究開発法と事例紹介 |
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化合物半導体デバイスへの応用 |
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磁気メモリー技術への応用 |
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センサデバイスへの応用 |
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固体酸化物燃料電池への応用 |
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リチウムイオン電池への応用 |
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有機薄膜太陽電池への応用 |
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機能性薄膜と色素増感太陽電池への応用 |
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表面機能化デバイスへの応用 |
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バイオデバイスへの応用 |
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FPDへの応用―PDPを事例として |
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実用薄膜プロセス 〜機能創製・応用展開〜 |
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