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半導体素子の微細化に伴う諸問題を解決する「絶縁膜」にクローズアップ。 |
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技術・科学的課題、高誘電材料・低誘電材料の研究開発などを丁寧に詳解。 |
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2012年7月20日 |
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本体38,000円+税 |
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356頁 |
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B5 |
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ISBN978-4-86469-039-3 |
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エレクトロニクスにおけるスケーリングの追求と絶縁膜の技術・科学的課題 |
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絶縁超薄膜技術 〜分子設計・加工・評価〜 |
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ポストシリコン・トランジスタとゲート絶縁膜 |
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層間絶縁膜 |
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絶縁膜形成とエッチング |
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ナノエレクトロニクスと絶縁膜技術展望 |
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ナノエレクトロニクスにおける絶縁超薄膜技術 〜成膜技術と膜・界面の物性科学〜 |
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