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レジスト材料 |
1.1 |
高分子集合体 |
1.2 |
付着現象 |
1.3 |
表面硬化層 |
1.4 |
浸透と膨潤 |
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レジストプロセス |
2.1 |
レジストプロセス |
2.2 |
密着強化処理(シランカップリング処理) |
2.3 |
多層レジストプロセス |
2.4 |
ウェットプロセス |
2.5 |
乾燥プロセス |
2.6 |
乾燥方式 |
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ナノスケール計測技術 |
3.1 |
寸法計測 |
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3.2 |
DPAT法(付着力解析法) |
3.3 |
耐久性評価 |
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レジスト付着性 |
4.1 |
付着現象 |
4.2 |
応力集中効果 |
4.3 |
付着力推定 |
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レジスト欠陥 |
5.1 |
プロセス欠陥 |
5.2 |
VF(Viscous Finger)変形 |
5.3 |
ウォータマーク(乾燥痕) |
5.4 |
発泡(ふくれ) |
5.5 |
微小気泡 |
参考文献 |
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