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ノボラックレジスト 材料とプロセスの最適化 【書籍+PDF版】 |
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◇半導体、液晶デバイスの製造工程で未だ大量に使用されている
「ノボラックレジスト」
◇古くて新しい「ノボラックレジスト」を初詳説。 |
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発刊日 |
2020年1月14日 |
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定 価 |
本体55,000円+税 |
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頁 数 |
193頁+CD |
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造 本 |
A4 |
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発行所 |
S&T出版 |
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ISBN |
C3058 |
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■著者
堀邊英夫 / 大阪市立大学
田中初幸 / メルクパフォーマンスマテリアルズ(株)
花畑誠 / 大阪市立大学 客員教授
山本雅史 / 香川高等専門学校
関口淳 / 立命館大学 客員教授
虎谷秀一 / (株)東レリサーチセンター
望月則宏 / (株)東レリサーチセンター
萬尚樹 / (株)東レリサーチセンター
■章タイトル
第1章 はじめに
第2章 g線ノボラックレジストの概要
第3章 i線ノボラックレジストの概要
第4章 ノボラックレジストの材料開発
第5章 ノボラックレジストの分析技術
第6章 レジスト剥離技術
第7章 ノボラックレジストの応用とトラブルシューティング
第8章 最後に
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ノボラックレジスト 材料とプロセスの最適化【書籍+PDF版】 |
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