ノボラックレジスト 材料とプロセスの最適化
【書籍+PDF版】
 
応用物理 CD-ROM 試読不可
◇半導体、液晶デバイスの製造工程で未だ大量に使用されている
 「ノボラックレジスト」
◇古くて新しい「ノボラックレジスト」を初詳説。
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発刊日 2020年1月14日
定 価 本体55,000円+税
頁 数 193頁+CD
造 本 A4
発行所 S&T出版
ISBN C3058
 
■著者

堀邊英夫 / 大阪市立大学
田中初幸 / メルクパフォーマンスマテリアルズ(株)
花畑誠 / 大阪市立大学 客員教授
山本雅史 / 香川高等専門学校
関口淳 / 立命館大学 客員教授
虎谷秀一 / (株)東レリサーチセンター
望月則宏 / (株)東レリサーチセンター
萬尚樹 / (株)東レリサーチセンター


■章タイトル

第1章 はじめに
第2章 g線ノボラックレジストの概要
第3章 i線ノボラックレジストの概要
第4章 ノボラックレジストの材料開発
第5章 ノボラックレジストの分析技術
第6章 レジスト剥離技術
第7章 ノボラックレジストの応用とトラブルシューティング
第8章 最後に

 
 
 
※購入方法について
 
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