|
レジスト、リソグラフィ、微細加工用材料の基礎と最新技術動向
|
|
|
|
|
|
|
★レジスト、リソグラフィ、微細加工用材料の基礎から最新
技術まで今後の展望まで含めてトータルに解説!
★市場動向やビジネスの新規参入可能性分野についても解説!
※2022年2月24日に実施したセミナー資料
|
|
|
発刊日 |
2022年3月4日 |
|
定 価 |
本体30,000円+税 |
|
頁 数 |
99頁 |
|
造 本 |
A4 |
|
発行所 |
(株)AndTech |
|
|
■著者:
大阪大学 産業科学研究所 招聘教授、
フォトポリマー学会企画委員長、フォトポリマー懇話会企画委員長 工学博士
遠藤 政孝 氏
■主な目次:
1.リソグラフィの基礎
2.レジストの基礎
3.リソグラフィ、レジスト、微細加工用材料の最新技術
4.リソグラフィ、レジスト、微細加工用材料の今後の技術展望
5.レジストの市場動向
|
|
レジスト、リソグラフィ、微細加工用材料の基礎と最新技術動向 |
Copyright (C) 2022 NTS Inc. All right reserved. |
|