レジスト、リソグラフィ、微細加工用材料の基礎と最新技術動向 
 
新刊 応用物理 試読不可
★レジスト、リソグラフィ、微細加工用材料の基礎から最新
 技術まで今後の展望まで含めてトータルに解説!
★市場動向やビジネスの新規参入可能性分野についても解説!
※2022年2月24日に実施したセミナー資料
 
 
発刊日 2022年3月4日
定 価 本体30,000円+税
頁 数 99頁
造 本 A4
発行所 (株)AndTech
 
■著者:
大阪大学 産業科学研究所 招聘教授、
フォトポリマー学会企画委員長、フォトポリマー懇話会企画委員長 工学博士 
遠藤 政孝 氏

■主な目次:
1.リソグラフィの基礎
2.レジストの基礎
3.リソグラフィ、レジスト、微細加工用材料の最新技術
4.リソグラフィ、レジスト、微細加工用材料の今後の技術展望
5.レジストの市場動向
 
 
 
※購入方法について
 
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