エッチングの高度化と3次元構造の作製技術
　
応用物理 試読不可
前書「ウェットエッチングのメカニズムと処理パラメータの最適化」のと同じく、最新技術だけでなく基礎・実務から解説された一冊です。ウェットエッチング、ドライエッチング、ポストエッチング、3次元微細構造作成技術を学びたい方におすすめいたします。
　
　
　
発刊日 2025年3月31日
定　価 本体60,000円＋税
頁　数 209頁
造　本 A4
発行所 S&T出版
ISBN 978-4-911146-09-5 C3058
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■執筆者計26名


■章タイトル
第1章　加工技術の基礎と高度化
第2章　応用別のエッチングの高度化
第3章　3次元構造の作製技術
　
　
　
※購入方法について
　
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