＜本書の特徴＞
◇ PFASフリー時代の設計図！ ArF液浸からCMP、洗浄まで、
　 工程別の代替物質とプロセス最適化を徹底解説！

◇ 規制リスクを機会に変える！ 欧州、米国、アジアのPFAS
　 規制動向と、半導体サプライチェーン再編の道筋を提示！

◇ 装置性能の維持が鍵！ 静電チャック、シール材、潤滑油…
　 装置部品におけるPFASフリー材料の実用性を評価！

◇ 化学者の武器！ POE、APG など、次世代洗浄・剥離用界面
　 活性剤の性能と導入メリットを深掘り解説！

◇「PFASフリー戦略における失敗課題の類型と事例」から学ぶ、
　 致命的な歩留まり低下を防ぐ教訓を解説！

◇ 配管、温調、クリーンルーム・ユーティリティまで、
　 PFASフリー化の全体像と具体的な実装計画を網羅！

◇ 短鎖／部分フッ素誘導体のリスクと、シリコーン系（PDMS）
　 などの完全代替候補の特性を比較分析！

◇ 技術者のための実践戦略！ PFAS依存度低減に向けた
　 「プロセス条件最適化」の具体的手法と事例を解説！