微細加工技術[応用編] ―フォトニクス・エレクトロニクス・メカトロニクスへの応用―
 
ナノテクノロジー
(社)高分子学会主催「ポリマーフロンティア21 微細加工技術(応用編)」セミナー(2003年3月)を編集。

微細加工技術は電子デバイス、光デバイス、マイクロマシニングなどへの適用技術により、化学合成・情報・通信・印刷・医療など多くの分野で新たな展開の原動力となろうとしている。これらの分野における応用技術としてのナノ領域における加工技術について解説。
 
2003年7月1日
本体24,400+税
224頁
B5判 上製
ISBN4-86043-026-3 C3043
 
橋詰 富博    (株)日立製作所基礎研究所 主任研究員
松浦  徹    日本電信電話(株)NTTフォトニクス研究所複合光デバイス研究部光波回路応用研究グループ 
主任研究員
羽根 一博    東北大学大学院工学研究科ナノメカニックス専攻 教授
生田 幸士    名古屋大学大学院工学研究科マイクロシステム工学専攻 教授
松井 真二    姫路工業大学理学部大学院高度産業科学技術研究所 教授
南方  尚    旭化成(株)先端材料・融合研究所 主幹研究員/
(財)光産業技術振興協会高効率有機デバイス推進機構 研究員
 

SPMを利用したナノスケールでの加工
 
マイクロ光造形法を利用した
医療デバイス・化学ICチップへの応用
 

高分子材料の微細加工技術と
光導波路への適用
 
インプリント技術の現状と展望
 

立体マイクロマシニングの
光MEMSへの応用
 
有機半導体トランジスタの最近の進展
 
Copyright (C) 2003 NTS Inc. All right reserved.