河合　晃

　国立大学法人 長岡技術科学大学大学院 電気電子情報工学専攻 教授
　ナノ・マイクロシステム工学研究室（河合研究室）
　研究成果実用化企業（大学ベンチャー企業）：アドヒージョン�� 代表取締役 兼務

【研究歴】
　三菱電機�� ULSI研究所
　長岡技術科学大学 電気電子情報工学専攻 教授
　　・リソグラフィー技術および設計
　　・コーティング、乾燥技術、薄膜形成、薄膜評価
　　・表面、界面、付着、濡れ、剥離、クリーンネス
　　・レジスト材料開発（g,i,excimer・・・、CELL、Si含有、液浸）
　　・現像液開発（界面活性剤、溶解特性）
　　・プロセス開発（3層、2層レジスト法、イメージリバーサル、位相シフト重ね合せ、
　　　輪帯照明、アライメント、スピンコート、スプレーコート、DUVキュア、パターン欠陥・・・）
　　・装置開発（塗布現像装置、キュア装置、露光安定化、液浸）
　　・評価技術（AFM解析、表面硬化層、汚染洗浄、付着）
　　・デバイス開発（試作移管、歩留まり改善、工場立ち上げ、多層配線・・）

【業　績】
　論文160報以上、著書38冊、国際学会122報、国内学会212報、招待講演13件、
　学会講演27件、セミナー講演226件など

【役　職】
　各種論文査読委員、NEDO技術委員、公的予算審査委員などを歴任