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【Live配信・WEBセミナー】
熱・UVナノインプリントの基礎・プロセス評価技術と応用展開


■日時:2021年02月24日(水) 14:00〜17:00

■会場:※会社やご自宅のパソコンで視聴可能な講座です
※ お申込み時に送られるWEBセミナー利用規約・マニュアルを必ず、ご確認ください。

■定員:30名

■受講料:39,600円(税込、テキスト費用を含む)
 ※複数でのご参加を希望される場合、お申込み追加1名ごとに¥11,000加算となります

■主催:(株)AndTech

■講師:
 第1部 大阪府立大学 大学院 工学研究科 電子・数物系専攻 電子物理工学分野 教授
        応用物理学会 フェロー/ナノインプリント技術研究会 会長 平井 義彦 氏
 第2部 大阪府立大学 大学院工学研究科 電子・数物系専攻
                           客員教授 博士(工学) 関口 淳 氏


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第1部 ナノインプリントのメカニズムと微細構造の作製技術


【講演キーワード】

ナノインプリント 半導体リソグラフィ 三次元成型 生体模倣構造

【講演主旨】

 ナノインプリントは、比較的簡単なプロセスでナノ構造が簡単に作製できます。しかし、
そのメカニズムは複雑で、その基本を理解しておくことは、欠陥対策や生産性の向上には
不可欠です。
 本講では、熱ナノインプリント、UVナノインプリントの基本的な物理化学の知識を身に
つけます。
さらに、リバーサルナノインプリントやハイブリッドナノインプリントなどを含めた、応
用プロセスについて学びます。また、ナノインプリントならではの多彩な応用技術につい
て紹介します。これまで気付かなかったナノインプリントの隠れたメカニズムや応用につ
いて、系統だてで解説します。

【プログラム】

1.ナノインプリント法の概要
 1.1 ナノインプリントの歴史と特徴
2.熱ナノインプリントの基礎
 2.1 熱ナノインプリントの原理・特徴と長短所
 2.2 樹脂の粘弾性と成型性
 2.3 形状依存性
 2.4 成形速度依存性
 2.5 熱ナノインプリントプロセスの最適化と樹脂材料への要求特性
3.光ナノインプリントの基礎
 3.1 光ナノインプリントの原理・特徴と長短所
 3.2 樹脂の流動と充填
 3.3 UV照射とパターンサイズ
 3.4 UV硬化の基礎と材料特性
 3.5光ナノインプリント用樹脂への要求特性
4.多様な材料を用いたナノインプリントとその特徴
 4.1 ガラス材料のナノインプリント
 4.2 金属材料のナノインプリント
 4.3 生分解樹脂,有機半導体のナノインプリント
5.ナノインプリントにおける樹脂の分子挙動
 5.1 ナノインプリントの分子動力学解析
 5.2 樹脂充填と分子挙動
 5.3 成型と離型の分子量依存性
6. 離型技術
 6.1 離型の基本メカニズム
 6.2 離型方法と欠陥低減
 6.3 熱ナノインプリントとUVナノインプリントの離型性
7.三次元構造の作製への展開
 7.1 リバーサル・ナノインプリントによる三次元積層構造の作製
 7.2 ハイブリッドナノインプリントによる三次元マイクロ・ナノ混在構造の作製
8.ナノインプリントの製品応用と最新動向
 8.1 光学要素への応用
 8.2 バイオ・マイクロ流路デバイスへの応用
 8.3 半導体・電子デバイスへの応用
 8.4 生体模倣構造への応用
9.今後の展開と課題

【質疑応答】

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第2部 熱・光ナノインプリントの基礎・プロセス評価技術と応用展開


【プログラム】

1.はじめに
2.ナノインプリント技術への取り組み
 2.1 ナノインプリントリソグラフィー(NIL)の概要
 2.2 プロセス評価用ナノインプリント装置
  (1)実験用熱・光対応インプリント装置
  (2)実験用熱インプリント装置
  (3)光ロールTOロールナノインプリント装置
  (4)実験用小型熱・光・真空インプリント装置
  (5)ナノインプリント用アライメント装置
3.ナノインプリント法によるモスアイ構造製作のための評価装置開発
4.ナノインプリント材料の硬化特性測定装置の開発
5.ナノインプリント技術のバイオミメティクスへの応用(新展開)
 5.1 バイオミメティクス
 5.2 バイオミメティクスを用いた防汚機能を有する胆管ステント開発
  (1)はじめに
  (2)バイオミメティクス技術の応用
  (3)防汚機能を有する胆管ステント
  (4)ステント製作と評価
  (5)動物実験
  (6)まとめ

【質疑応答】

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