■開催日時:2024年06月28日(金) 10:30〜16:30
■会場:【WEB限定セミナー】※在宅、会社にいながらセミナーを受けられます
■定員:30名
■受講料:55,000円(税込、資料付き/1人)
※最新のセミナー情報を「配信可」にすると割引適用(登録無料)
会員(案内)登録していただいた場合、通常1名様申込で55,000円(税込)から
・1名で申込の場合、49,500円(税込)へ割引になります。
・2名同時申込で両名とも会員登録をしていただいた場合、計55,000円(2人目無料)です。
■備考:
資料付き
【LIVE配信セミナーとは?】
■主催:(株)R&D支援センター
■講師:
ソメイテック 代表 大薗 剣吾 氏
<資格等>
技術士(金属、機械部門)、一級機械保全技能士、応用情報技術者
<学協会>
日本技術士会(金属部会幹事)、加飾技術研究会(理事)
<ご略歴>
2003〜2005 東京大学大学院マテリアル工学修了
2005〜2016 凸版印刷株式会社
2017〜2022 技術士事務所ソメイテック
2020〜2022 BISAI株式会社
技術士の中でも数少ない「薄膜・表面プロセスの専門家」。大手印刷会社にて電子デバイス・半導
体・機能性フィルム技術に携わる。2017年よりソメイテックにて薄膜技術のコンサルティングを行う。
スパッタリング薄膜製品の設計、生産ラインの立上げ、品質改善などの豊富な経験を有する。薄膜技
術に関する教育にも携わっている。
■習得できる知識:
・スパッタリングの原理について理解を深めることができる
・スパッタリング薄膜の特性を制御する方法を学べる
・スパッタリング薄膜の実務のトラブル解決へのヒントが得られる
■趣旨:
スパッタリングは、エレクトロニクスをはじめとした様々なシーンで用いられる重要な技術で、近
年はさらに用途が拡大しています。しかし、量産技術をどのように確立し、品質をどのように改善す
るのかについてのノウハウはあまり知られていません。
本講座では、スパッタリング薄膜の原理・メカニズムを解説し、品質向上や密着性改善などの実務
課題への対応方法を具体的に解説します。実務上の問題についてのご質問もその場で回答します。ス
パッタリングの基礎を学びたい方はもちろん、実務エキスパートとして活躍されている方にも大変お
勧めです。
■プログラム:
≪基礎編≫
1.スパッタリング法の基礎
1-1.薄膜技術の基本を知る
1-2.スパッタリング法の特徴とその用途
1-3.スパッタリング装置の構成
1-4.スパッタリング工程の運用と管理方法
2.スパッタリング法の物理現象
2-1.物理現象を把握することの重要性について
2-2.スパッタリングの物理現象1(プラズマ放電)
2-3.スパッタリングの物理現象2(スパッタリング)
2-4.スパッタリングの物理現象3(組織形成)
2-5.スパッタリングの現象と制御パラメータの関係
3.スパッタリング薄膜の評価・分析技術
3-1.スパッタリング薄膜に求められる性能とは
3-2.あらゆる機能の基礎となる、膜厚・形状の測定
3-3.薄膜の性能を知るための、各種特性の測定・評価
3-4.特性の発現機構を明らかにする、結晶構造評価
3-5.不具合現象開明のための元素・状態分析
3-6.信頼性評価のための機械的性質・密着性評価
≪応用編≫
4.スパッタリング薄膜の特性安定化
4-1.特性実現と特性安定化という2つの課題
4-2.特性とパラメータの間にあるものを理解する
4-3.プロセスのばらつき・変動要因を理解する
4-4.プロセスのリアルタイム分析方法、データ解析事例
4-5.スパッタリング薄膜の特性安定化の重要ポイント
5.スパッタリング薄膜の密着性・信頼性改善
5-1.薄膜の密着と剥離のメカニズム
5-2.解析〜原因追究の手順
5-3.密着性改善・安定化のための具体的な手法
5-4.薄膜の信頼性の問題と対策
6.スパッタリング薄膜の微小欠陥・外観異常対策
6-1.スパッタリング薄膜の欠陥モード
6-2.スパッタリング薄膜の外観検査とモニタリング
6-3.ピンホール・付着異物の原因究明と対策
6-4.変色・しわ・しみの原因究明と対策
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