. .
セミナー・イベントTOPへ戻る


【Live配信・WEBセミナー】
スパッタリングの基礎・トラブル対策と難接着材料との密着性向上


■日時:2020年12月08日(火) 13:30〜17:30

■会場:※会社やご自宅のパソコンで視聴可能な講座です
※ お申込み時に送られるWEBセミナー利用規約・マニュアルを必ず、ご確認ください。

■定員:30名

■受講料:39,600円(税込、テキスト費用を含む)
 ※複数でのご参加を希望される場合、お申込み追加1名ごとに¥11,000加算となります

■主催:(株)AndTech

■講師:
有限会社アーステック 、名古屋大学 客員教授 博士(工学) 小島 啓安 氏

■講演主旨:
スパッタ技術は、再現性が良く大面積にも均一性があり、低温においても密着性良く成膜出来る
重要な技術である。生産現場における利用も増加している。スパッタの原理を確認し、さらに
最新のカソード技術を紹介しながら、現場の品質向上策についても解説する。


1.スパッタの基礎
 1-1 スパッタの原理
 1-2 スパッタと蒸着の違い
1-3 スパッタ装置
1-4 成膜メカニズム

2.スパッタリングの新潮流
 2-1 パルス技術
 2-2 マグネトロン技術

3.高速成膜技術
 3-1 反応性スパッタ
 3-2 ヒステリシス
 3-3 プラズマエミッションコントロール

4.最新カソード技術
4-1 デュアルカソード
4-2 ロータリーカソード
 4-3 AC放電
 4-4 低ダメージカソード

5. スパッタ品質向上策
5-1 内部応力
5-2 密着性向上

6 最新トピックスおよびスパッタ応用製品

Copyright (C) 2020 NTS Inc. All right reserved.