序論 1 DLCについて 2 産業分野での流れ 　1 DLC膜の用語を積極的に使用している例 　2 ダイヤモンド状炭素膜の用語を積極的に使用している例 3 学術分野での流れ 　 　1 歴史 　2 2005年の概要 　3 2005年の詳細 4 アモルファス炭素系薄膜の新しい研究・開発・商品化への流れ 　 第1章　DLCの特徴と用途 　トライボロジー 1 はじめに 2 トライボロジー序説 3 トライボロジーの基礎メカニズム 　1 摩擦 　2 摩耗 　3 潤滑 　 4 トライボマテリアルとしてのDLC 　1 高硬度と耐摩耗性 　2 平滑性、低凝着性と低攻撃性 　3 固体潤滑性と摩擦特性 　4 化学的安定性と潤滑性 5 おわりに 　 　摺動以外の諸特性 1 はじめに 2 DLCの特性 3 DLCの構造と膜質 4 DLC膜の光学特性 　 5 DLC膜の音響特性 6 DLC膜の電気特性 7 DLC膜の化学的安定性 8 DLC膜の濡れ性 　 第2章　DLCの成膜方法と膜構造 　イオン化蒸着法 1 原理および製造方法 2 イオン化蒸着法によるDLC膜の特性 3 モルフォロジー（表面平滑性）と表面粗さ 　 4 トライボロジー特性 5 イオン化蒸着法DLC膜の金型への応用 　 　プラズマCVD法によるDLC膜の形成 1 はじめに 2 プラズマCVD法の特徴 3 自己バイアスと圧力の関係 4 DLC膜 　 5 実験装置 6 実験条件および評価装置 7 結果 8 まとめ 　 　UBMS法によるDLC膜の特性と応用 1 はじめに 2 UBMS法の原理と特長 　1 スパッタ法とは 　2 UBMS法の特長 　 3 UBMS法によるDLC膜の形成 4 UBMS法によるDLC膜の特性 5 UBMS法によるDLC膜の応用 6 おわりに 　 　HCD法 1 はじめに 2 HCDおよび圧力勾配型HCDガン 3 HCD装置とDLC成膜 　 4 DLCのハイブリッド処理 5 おわりに 　 　PIG―PECVD法によるDLCコーティング 1 はじめに 2 装置開発コンセプト 3 PIG―PECVD装置の構成 4 皮膜構成とコーティング工程 　 5 密着性 6 トライボロジー特性 7 今後の展開について 　 　直流プラズマCVD法によるDLC―Si成膜技術の開発とその応用 1 はじめに 2 直流プラズマCVD法 3 高密着化技術 　 4 低摩擦特性 5 実用展開 6 おわりに 　 　アークイオンプレーティング法 1 はじめに 2 アークDLC膜の特長と成膜方法 3 結果および考察 　1 DLC薄膜の表面性状 　2 DLC膜の密着力評価 　 　3 硬度 　4 膜構造 　5 DLC薄膜の摩擦―摩耗特性 　6 アルミ合金のドライ切削加工試験 4 おわりに 　 　RF・高電圧パルス重畳型PBIID成膜法 1 プラズマイオン注入技術 2 RF・高電圧パルス重畳型プラズマイオン注入・成膜法と装置 3 本法で作製できるDLC膜 　1 膜厚 　2 ラマン分光 　 　3 膜の内部残留応力 　4 摩擦特性 　5 密着性 　6 耐食性評価とピンホール 4 成膜事例 5 まとめ 　 　プラズマブースター法 1 はじめに 2 成膜装置とプロセス 3 複合多層DLC（セルテスDLC）被膜の特性 　1 複合多層構造 　2 密着力 　 　3 硬さとヤング率、耐摩耗性 　4 耐焼付き性 　5 耐熱性 　6 電気的特性・光学的特性 4 おわりに 　 第3章　DLCの実用事例 　自動車関連部品 1 DLC―Si被覆電磁クラッチを用いた小型・高容量4WDカップリングの開発 　1 はじめに 　2 ITCCの作動原理と求められる特性 　3 電磁クラッチのトライボロジー特性 　3.1 シャダー試験 　3.2 フルード潤滑下におけるμ―v特性 　3.3 シャダー試験における摺動面の変化 　4 DLC―Si膜の大量処理技術 　4.1 PVD法と直流プラズマCVD法の比較 　4.2 直流プラズマCVD法によるクラッチ板の最適処理条件の検討 　5 まとめ 　6 おわりに 2 エンジン部品 　1 はじめに 　2 エンジンの開発動向 　3 エンジン部品用DLCの選択 　3.1 DLCの種類 　3.2 DLCの選択 　4 DLCのエンジン部品への適用 　4.1 耐焼付き性・耐摩耗性、耐荷重性の改善 　 　4.2 フリクションの低減 　5 まとめ 　6 おわりに 3 油圧機器部品 　1 はじめに 　2 DLCとは 　3 油圧機器に適したDLCの成膜方法 　4 過酷な摺動部のDLC皮膜構成 　5 油圧ポンプでの適用例 　6 サスペンションでの適用例 　7 まとめ 　8 おわりに 4 建設機械用油圧機器 　1 はじめに 　2 DLC膜の選定 　2.1 硬さ、剥離強度測定 　2.2 DLC膜の選定 　3 ベンチ試験結果 　3.1 斜板ピストンポンプ 　3.2 ギアポンプ 　4 実機試験結果 　5 今後の課題と展望 　 　容器部品 1 DLCコーティングによる高ガスバリア性PETボトル 　1 はじめに 　2 飲料・食品分野におけるガスバリア性の市場ニーズ 　3 ガスバリア性PETボトル開発の背景 　4 PETボトルへのDLCコーティング技術 　5 量産品質・プロセス 　6 今後の展開 　 2 シート成形容器 　1 はじめに 　2 ガスバリア性 　3 安全性 　4 リサイクル性 　5 コスト 　6 実施例 　7 おわりに 　 　工具・金型 1 工具 　1 アルミニウム合金用切削工具 　2 ドリル 　2.1 はじめに 　2.2 ドライ加工用切削工具に適したDLC膜 　2.3 各種被膜とアルミニウム合金の摺動特性 　2.4 DLCドリルの切削事例 　2.5 おわりに 　 2 アルミ缶・ICリードフレーム金型 　1 アルミ缶金型 　1.1 スピニング加工用ロール 　1.2 ネッキングダイ 　2 ICリードフレーム金型 　2.1 リードフレーム加工用曲げパンチおよびダイ 3 光ディスク金型 　 　その他の実用事例 1 磁気テープのDLC 　1 はじめに 　2 磁気テープ記録装置、および蒸着テープの構造 　2.1 磁気テープ記録装置の構造 　2.2 蒸着テープの構造 　2.3 DLC膜の構造 　3 蒸着テープの摺動耐久性とDLC保護膜に求められる特性 　3.1 蒸着テープのスティル・モードでのダメージ発生メカニズム 　3.2 DLCによるスティル耐久性向上のメカニズム 　4 おわりに 2 湯水混合栓 3 ズームカメラ用OリングへのフレキシブルDLCコートの適用 　1 はじめに 　 　2 DLCの製法 　3 高分子材料へのフレキシブルDLCの開発 　4 フレキシブルDLCの特徴とカメラ用Oリングへの検討 　5 鏡枠のZOOM部の構造とOリングに求められる基本的な機能 　6 従来の表面処理法での課題とフレキシブルDLCの適用による効果、性能への影響 　7 まとめ 4 金属ステント、カテーテル 　1 はじめに 　2 生体適合性材料の研究 　3 カテーテルおよびガイドワイヤー 　4 ステント 　5 DLCの血液接触性デバイスへの応用と展望 　6 おわりに 　 第4章　構造解析・評価 　骨格構造と解析 1 透過型電子顕微鏡法 　1 はじめに 　2 透過型電子顕微鏡の原理 　3 透過型電子顕微鏡を用いて分かること 　3.1 材料組織の画像 　3.2 電子線回折 　3.3 分析 　4 DLCへの適用 　5 まとめ 2 吸収端近傍X線吸収微細構造 　1 はじめに 　2 NEXAFSの測定原理 　3 NEXAFSの測定と放射光施設 　4 NEXAFS測定によるsp2成分比と硬度の関係 　5 NEXAFSの評価による研究実例　―FIB―CVDDLCの測定― 3 紫外・可視光吸収分光法 　1 光吸収分光の基礎 　2 光吸収分光の測定法 　3 測定例 4 エリプソメトリ 　1 はじめに 　 　2 エリプソメトリの原理 　3 解析モデル 　4 分光エリプソメトリの測定に用いた試料の作製法 　5 構造モデル 　6 Tauc―Lorentzモデルから得られた光学定数の決定と考察 　7 まとめ 5 電子状態密度 　1 アモルファス物質中にある電子状態密度についての考え方 　2 電子状態密度の測定法 　3 電子状態密度、バンドギャップエネルギー等の測定例 6 X線解析法 　1 X線回折の原理と装置構成 　2 回折チャートの読み方 　3 X線回折法による炭素薄膜測定の実際 7 X線反射法 　1 X線の全反射現象 　2 X線反射チャートの読み方 　3 X線反射法による炭素薄膜測定の実際 　 　欠陥・組成と解析 1 電子スピン共鳴（ESR）法および電子核二重共鳴（ENDOR）法 　1 欠陥の評価とは 　2 ESR法およびENDOR法の原理 　3 非晶質（アモルファス）半導体に対するESRおよびENDOR 　4 非晶質（アモルファス）半導体に対する光誘起ESR 　5 カーボン系薄膜に対するESR 　6 おわりに 2 ラマン散乱分光 　1 原理 　2 装置 　3 炭素系材料の測定例 　3.1 測定の注意点 　3.2 炭素材料のラマン 　3.3 DLC膜のラマン 　4 まとめ 3 X線光電子分光法 　1 はじめに 　1.1 原理 　1.2 光電子の脱出深さ 　1.3 化学シフト 　1.4 短所 　2 装置 　2.1 モノクロ単色化 　2.2 エネルギー分析器 　2.3 中和銃 　3 DLCへの適用 　3.1 化学状態分析 　3.2 組成分析（窒素を含むDLC膜（CN膜）の分析例） 　4 その他の分析法 　5 まとめ 4 オージェ電子分光 　 　1 原理 　2 装置構成 　2.1 電子銃 　2.2 エネルギー分光器 　2.3 中和銃（スパッタイオン銃） 　2.4 2次電子検出器 　3 炭素材料への適用例 　3.1 組成分析 　3.2 化学結合状態分析 　4 反射電子エネルギー損失分光 　5 まとめ 5 ラザフォード後方散乱法による薄膜試料の組成分析 　1 はじめに 　2 RBS装置の構成 　3 RBSの原理 　3.1 原理イメージ 　3.2 エッジエネルギー 　4 スペクトルの解釈 　5 炭素系材料のRBS測定 　5.1 実際のスペクトル 　5.2 不純物の発見 　6 RBSに適したサンプル 　6.1 試料形状 　6.2 基板の選定 　6.3 膜厚 　6.4 測定時間 　7 密度の評価 　8 弾性反跳散乱分析法による薄膜試料の水素含有量測定 　8.1 原理 　8.2 実際のスペクトル 　8.3 ERDA測定に適したサンプル 　8.4 その他の注意事項 　 第5章　プロセス反応解析・評価 　CVDプロセス反応と解析 1 はじめに 　1 CVDとフリーラジカル 　2 フリーラジカルの検出 　2.1 原子のエネルギー準位とスペクトル 　2.2 分子のエネルギー準位とスペクトル 2 発光スペクトル 　1 発光スペクトルの測定 　2 発光スペクトルの研究例 　2.1 原子の発光スペクトル計測に基づく膜硬質化過程の解析 　2.2 N2―CH4混合気体のRF放電によるa―CNx：Hの生成 3 レーザ誘起蛍光分光法 　1 レーザ誘起蛍光スペクトルの測定 　2 LIFスペクトルを用いた研究例 　2.1 BrCNの分解過程 　2.2 CNラジカルの反応・失活過程 　2.3 CNラジカルの付着確率計測 4 分光理論（二原子フリーラジカルの電子スペクトルを中心にして） 　1 序論 　2 二原子分子の分子軌道 　2.1 分離原子の記法 　2.2 融合原子の記法 　 　3 二原子分子の電子状態 　4 スピン軌道相互作用 　5 電子状態と回転の結合 　5.1 Hundの結合則（a） 　5.2 Hundの結合則（b） 　5.3 （a）と（b）の中間的な場合 　6 二原子分子のエネルギー行列 　7 エネルギー行列の計算例 　7.1 2Σ＋状態の行列要素 　7.2 2Π状態のエネルギー行列要素 　8 遷移確率とスペクトル強度 　9 スペクトルの選択則とパリティ（parity：偶奇性） 　9.1 ＋、− ―parity 　9.2 e、f―parity 　9.3 g／u―parity 　9.4 s／a―parity 　10 二原子フリーラジカルの発光スペクトル強度 　11 電子スペクトルの選択則のまとめ 　12 分子数分布 　13 二原子フリーラジカルのLIFスペクトル強度 　14 スペクトル線のたたみこみと表示 　15 スペクトルのシミュレーション解析 5 おわりに 　 　PVDプロセス反応と解析 1 成長表面／界面（ドーピングも含めて） 　1 膜形成前躯体の表面プロセス診断 　1.1 はじめに 　1.2 CH4のRF放電によるa―C：Hの形成 　1.3 RFマグネトロンスパッタリングを用いたa―CNxの形成過程 　2 レーザ蒸着法のプロセス診断 　2.1 はじめに 　2.2 PVDプロセス診断 　2.3 実験方法 　2.4 結果と考察 　 　2.5 まとめ 2 イオンエネルギーの制御と解析技術 　1 はじめに 　2 質量分離イオンビーム蒸着法 　3 超高真空・大電流MSIBD装置 　4 DLC膜 　4.1 真空度の影響 　4.2 イオンエネルギー依存性 　4.3 機械的特性 　5 まとめ 　 第6章　DLCの物性・評価 　機械特性 1 マクロ特性（ヤング率・強度・残留応力） 　1 ヤング率 　1.1 静的引張り・曲げ・押込み法 　1.2 共振法 　1.3 超音波音速測定法 　1.4 DLC膜のヤング率の評価例 　2 強度 　3 残留応力 　3.1 残留応力の測定法 　3.2 残留応力の発生原因 　3.3 DLC膜の残留応力 2 マイクロ・ナノ機械特性評価 　1 ナノインデンテーションとそのエネルギー評価 　1.1 ナノインデンテーション評価 　1.2 ナノインデンテーション試験によるDLC膜の硬さ、ヤング率の測定評価 　1.3 ナノインデントエネルギー評価 　2 マイクロ・ナノトライボロジー評価 　2.1 はじめに 　2.2 マイクロ・ナノトライボロジー 　2.3 DLC膜のマイクロ・ナノトライボロジー特性 3 付着試験法 　 　1 付着力の定義 　2 スクラッチ試験機による付着力の測定　432 　3 摩擦係数の影響 　4 基板硬度の影響 4 摩擦摩耗試験法 　1 はじめに 　2 摩擦特性 　3 摩耗特性 　4 トライボロジーの評価方法 　5 DLC膜のトライボロジー特性評価例 　5.1 DLC膜の優れたトライボロジー特性の評価 　5.2 DLC膜の極低摩擦特性の評価例 　5.3 マイクロビームアナリシスによるカーボン系薄膜トライボロジーの評価 　5.4 DLC膜の境界潤滑特性 　5.5 DLC膜の発塵低減効果の評価 　6 おわりに 5 血液特性 　1 はじめに 　2 溶血性 　3 抗血栓性 　4 まとめ 　 　電気特性 1 電気伝導（測定系を含めた接合特性） 　1 はじめに 　2 電気伝導のメカニズム 　3 測定方法 　4 実験結果と考察 　5 光伝導 　6 実験結果および考察 　7 まとめ 2 SPMを用いたアモルファスカーボンの表面観察と解析 　1 はじめに 　2 STMの原理 　3 STSの原理 　 　4 AFMの原理 　5 SNOMの原理 　6 STM、STSを用いたa―Cの表面観察と解析 　7 AFMを用いたa―Cの表面観察と解析 　8 SNOMを用いたa―Cの表面観察と解析の可能性 　9 まとめ 3 仕事関数評価法 4 誘電特性評価方法 　1 電子分極 　2 イオン分極（原子分極） 　3 双極子分極（配向分極） 　4 交番電界中での誘電率 　 第7章　DLCの将来展望・研究の最前線 　今後の市場規模 1 DLC市場の現状 2 DLC市場の市場規模（2002〜2008年度：金額ベース） 3 DLC市場参入メーカー 　 4 DLC市場の需要分野別市場規模推移（2002〜2008年度：金額ベース） 5 DLC市場の市場予測 　 　環境にやさしいDLCコーティング 1 はじめに 2 有害化学物質に関連する主な規制 3 無潤滑摺動を狙ったDLCコーティングの用途 4 無潤滑切削を狙ったDLCコーティング 　 5 今後注目を集める高分子材料へのDLCコーティング 6 まとめ 　 　更なる低摩擦を目指して 1 DLCの摩擦係数 2 水素含有量 3 雰囲気環境 　 4 トライボケミカル反応 5 超低摩擦のメカニズム 6 DLCの宇宙機器への応用 　 　水素吸蔵材料 1 アモルファス炭素膜と水素の関係 2 水素吸蔵量測定法 3 炭素材料の構造と水素吸蔵量 　1 ナノダイヤモンド 　 　2 カーボンファイバー 　3 活性炭 　4 a―CNx：H（BrCN由来）膜 　5 a―CNx：H（CH3CN由来）膜 　 　水素遮断膜 1 はじめに 2 DLC膜の作製 3 透過法による水素遮断性の評価 　 4 水素透過量測定結果 5 拡散方程式による検討 6 まとめ 　 　太陽電池 1 はじめに 2 目的 3 水素ガス添加による光学バンドギャップ制御 　1 実験装置および方法 　2 実験結果 　2.1 ラマン分光測定 　2.2 FT―IR測定 　 　2.3 光学バンドギャップ測定 　2.4 ESCA測定 4 放電パラメータによる光学バンドギャップ制御 　1 実験装置および方法 　2 実験結果 5 考察 　 　メディカル用途 1 はじめに 2 機能性 　 3 組織適合性 4 メディカル用途へ向けた将来展望 　 　大気圧成膜 1 レーザアブレーション 　1 はじめに 　2 レーザアブレーションについて 　3 異なるアブレーションによるa―C薄膜の作製条件 　4 異なるアブレーションによって作製したa―C薄膜の光学特性と構造の比較 　5 考察 　6 CMCの合成法とアプリケーション 　7 まとめ 　 2 大気圧プラズマCVD―ナノパルスプラズマCVDによる大気圧下でのDLC膜合成 　1 緒言 　2 準大気圧下でのDLC膜合成 　2.1 はじめに 　2.2 ナノパルスプラズマCVD 　2.3 準大気圧下でのDLC膜合成 　3 大気開放下でのDLC膜合成 　 　Low―k膜 1 はじめに 2 低誘電率膜への要求 3 各種ダイヤモンド系、カーボン系材料 　1 DLC膜 　2 アモルファスカーボン 　3 ナノダイヤモンド 　 　4 CNx膜 　5 BN、BCN膜 　5.1 高速配線用層間膜への応用 　5.2 化合物高速デバイスへの応用 4 まとめ 　 　集束イオンビームによる立体ナノ構造形成技術とその応用 1 はじめに 2 立体ナノ構造形成方法 3 ナノエレクトロメカニクスへの応用 　1 空中配線の作製と評価 　2 静電ナノマニピュレータ 　 　3 ナノスプリング 4 ナノオプティクス（自然生物の擬似ナノ構造作製とその光学的評価） 5 ナノバイオへの応用 6 まとめ 　 　MEMS 1 はじめに 2 DLC板の合成と基本特性評価 　 3 DLC板の加工特性 4 FIBによるマイクロギアの加工と組立て 　 第8章　今後の展開 1 DLCの将来 2 トライボ応用 　 3 その他の応用 4 おわりに 　 Copyright　(C) 2006　NTS Inc. 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