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DLCはダイヤモンドライクカーボンの略で、アモルファス炭素(a-C)の中でも特にsp3混成軌道結合した炭素を多く含む不規則構造からなる準安定な硬質アモルファス炭素である。
DLC膜そのものを応用した製品ばかりでなく、DLC膜製造装置や評価装置などの製品が続々商品化され、学会では、DLC膜の合成、構造、特性、性能に関して議論が行われており、今まさに、DLCに熱い視線が注がれている。
本書は、産業として先行する企業と、その先の未来を提案しつつ知財を整理しようとする大学・研究所との熱い思いが込められた一冊である。 |
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2006年6月2日 |
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本体42,800円+税 |
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656頁 |
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B5 |
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ISBN4-86043-125-1 |
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監修
斎藤秀俊 (長岡技術科学大学教授) |
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編集委員(五十音順)
大竹尚登 (名古屋大学助教授)
中東孝浩 (日本アイ・ティ・エフ(株)) |
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執筆者全57名 |
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序論 |
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DLCの特徴と用途 |
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プロセス反応解析・評価 |
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DLCの成膜方法と膜構造 |
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DLCの物性・評価 |
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DLCの実用事例 |
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DLCの将来展望・研究の最前線 |
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構造解析・評価 |
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今後の展開 |
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