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＝ 刊行にあたって ＝
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「酸化物半導体薄膜技術の全て第2弾」と題した本書は次の章から構成される。
第1章 酸化物半導体薄膜技術の潮流
第2章 酸化物薄膜トランジスタの信頼性
第3章 LSIへの応用
第4章 酸化物半導体薄膜製造装置
第5章 酸化物半導体関連部材
第6章 グリーンプロセスによる酸化物半導体薄膜の作製
本書の目的は、大きく分けて以下の3点である。
（1）Society 5.0および5Gと酸化物半導体薄膜技術の関係を理解し、応用デバイスの開発及び実用化につなげる。
（2）デバイスがどのような装置と部材で製造されているのか、基盤技術を取得
グリーンプロセスによるデバイス作製技術の動向を把握
（3）ディスプレイ以外への応用としてLSIやセンサの開発動向を取得
本書が読者諸賢にいささかでも役立つなら著者の喜びとするところであり、同時に本書の内容について諸賢各位に御叱責 をお願いする次第である。
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鵜飼 育弘 |
| 酸化物半導体薄膜技術の全て(第2弾) |
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