<本書の特徴> ◇ 酸化物半導体薄膜技術の潮流をわかりやすく紹介! ◇ Society 5.0および5Gと酸化物半導体薄膜技術の関係を 解説! ◇ デバイスがどのような装置と部材で製造されているかの 基盤技術を解説! ◇ グリーンプロセスによるデバイス作製技術の動向を紹介! ◇ 豊富な図と写真(カラー)で最先端動向を紹介! 《第1弾》 《第1弾・第2弾セット》
■著者 鵜飼 育弘 ■章タイトル 第1章 酸化物半導体薄膜技術の潮流 第2章 酸化物薄膜トランジスタの信頼性 第3章 LSIへの応用 第4章 酸化物半導体薄膜製造装置 第5章 酸化物半導体関連部材 第6章 グリーンプロセスによる酸化物半導体薄膜の作製