酸化物半導体薄膜技術の全て(第2弾)
 
応用物理 試読不可
<本書の特徴>
◇ 酸化物半導体薄膜技術の潮流をわかりやすく紹介!
◇ Society 5.0および5Gと酸化物半導体薄膜技術の関係を
  解説!
◇ デバイスがどのような装置と部材で製造されているかの
  基盤技術を解説!
◇ グリーンプロセスによるデバイス作製技術の動向を紹介!
◇ 豊富な図と写真(カラー)で最先端動向を紹介!


《第1弾》
《第1弾・第2弾セット》
 
発刊日 2020年4月30日
定 価 本体60,000円+税
頁 数 161頁
造 本 A4
発行所 CMCリサーチ
ISBN 978-4-904482-77-3
 
■著者 鵜飼 育弘


■章タイトル
第1章 酸化物半導体薄膜技術の潮流
第2章 酸化物薄膜トランジスタの信頼性
第3章 LSIへの応用
第4章 酸化物半導体薄膜製造装置
第5章 酸化物半導体関連部材
第6章 グリーンプロセスによる酸化物半導体薄膜の作製

 
 
 
※購入方法について
 
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