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精密装置開発に欠かすことのできない高真空・超高真空技術の専門書。
第一部で真空装置の基礎設計に役立つ実用技術を、第二部で電子顕微鏡の真空システム技術を解説する。 |
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2003年12月19日 |
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本体38,000円＋税 |
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360頁 |
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B5判 並製函入 |
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| ISBN4-86043-039-5 |
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【監修者】
岡野 達雄 東京大学生産技術研究所教授 |
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【著者】
吉村 長光 技術士 |
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真空系の基礎設計 |
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真空技術の基礎の諸式とJIS資料 |
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| 1. |
真空排気系の基礎設計 |
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| 2. |
真空ポンプ |
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| 3. |
圧力測定 |
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| 4. |
洗浄 |
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| 5. |
リークテスト |
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| 6. |
構成材料のガス放出 |
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| 7. |
圧力シミュレーション |
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マイクロ・ナノ電子ビーム装置の
真空システム技術 |
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| 1. |
電子顕微鏡の真空排気系 |
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| 2. |
電子顕微鏡における
各部圧力のシミュレーション |
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| 3. |
微細電子ビーム照射によって
誘起される試料汚染 |
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| 4. |
真空中での放電 |
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| 5. |
微細電子ビームエミッタ |
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