編集 最新 実用真空技術総覧 編集委員会
編集委員長 笠井 秀明(明石工業高等専門学校長/大阪大学 名誉教授)
執筆者 計157名
序 (※クリックすると「序」を試読できます)
第1部 真空工学の基礎
第1編 希薄気体の性質
第2編 真空ポンプ
第3編 真空計測器
第4編 真空部品
第5編 真空材料
第6編 真空装置の取扱い
第7編 環境・安全・衛生対策と保守
第2部 真空応用システム
第1編 低・中真空の利用
第2編 金属材料の加工
第3編 薄膜
第4編 分子ビーム技術
第5編 表面分析
第6編 巨大真空システム
第7編 真空が牽引する次世代先端科学技術
第8編 環境・安全・衛生対策と法規
第9編 計算物理
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