■著者 鵜飼 育弘
■章タイトル
<第1弾>
第1章 酸化物半導体とは
第2章 薄膜トランジスタの基礎
第3章 TFT LCDの基礎
第4章 AMOLEDの基礎
第5章 非晶質酸化物半導体TFT
第6章 結晶性酸化物 半導体TFT
第7章 AMOLEDへの応用
第8章 TFT LCDへの応用
第9章 X線ディテクタパネル
<第2弾>
第1章 酸化物半導体薄膜技術の潮流
第2章 酸化物薄膜トランジスタの信頼性
第3章 LSIへの応用
第4章 酸化物半導体薄膜製造装置
第5章 酸化物半導体関連部材
第6章 グリーンプロセスによる酸化物半導体薄膜の作製
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