＜本書の特徴＞
◇ 半導体、ディスプレイ、プリント基板等で欠かせない
　 レジスト材料！
◇ フォトレジスト材料、プロセス、評価・解析、処理
　 装置までを幅広く網羅！
◇ デバイス製品規格をクリアできる技術の基礎および
　 ノウハウの習得を目指す！
◇ パターン欠陥などの歩留まり改善やトラブル対策に
　 必須な技術まで詳述！
◇ フォトレジスト材料の品質向上やプロセスの最適化
　 といった課題の解決を支える！
◇ フォトレジストに関する基盤技術やノウハウを集約
　 した機能的な一冊！