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高分子学会主催「ポリマーフロンティア21 微細加工技術の将来展望」セミナー(2002年4月)を編集。 サブミクロン程度までの微細加工技術を解説。対象を高分子材料に限定せず、ナノテクノロジーへの展開までを示す。 |
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2002年9月30日 |
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本体24,000円+税 |
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208頁 |
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B5判 上製 |
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ISBN4-86043-006-9 |
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(社)高分子学会編 |
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近接場光学を用いた ナノフォトニクスとそのための微細加工 |
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マイクロリキッドプロセスを用いた デバイス創成と将来展望 |
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大津 元一 東京工業大学 |
下田 達也 セイコーエプソン(株) |
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フェムト秒レーザーによる 超微細光造形法 |
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連続型EUVリソグラフィ開発と 樹脂感光性評価 |
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河田 聡 大阪大学 |
東 博純 (株)豊田中央研究所 |
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自己組織化的手法による 微細加工の将来展望 |
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新しい露光方法に対応した レジスト材料の開発 |
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益子 信郎 (独)通信総合研究所 |
緒方 寿幸 東京応化工業(株) |
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