微細加工技術〔基礎編〕
 
ナノテクノロジー
高分子学会主催「ポリマーフロンティア21 微細加工技術の将来展望」セミナー(2002年4月)を編集。
サブミクロン程度までの微細加工技術を解説。対象を高分子材料に限定せず、ナノテクノロジーへの展開までを示す。
 
2002年9月30日
本体24,000円+税
208頁
B5判 上製
ISBN4-86043-006-9
 
(社)高分子学会編
 

近接場光学を用いた
ナノフォトニクスとそのための微細加工
 
マイクロリキッドプロセスを用いた
デバイス創成と将来展望
大津 元一  東京工業大学 下田 達也  セイコーエプソン(株)
 

フェムト秒レーザーによる
超微細光造形法
 
連続型EUVリソグラフィ開発と
樹脂感光性評価
河田 聡  大阪大学 東 博純  (株)豊田中央研究所
 

自己組織化的手法による
微細加工の将来展望
 
新しい露光方法に対応した
レジスト材料の開発
益子 信郎  (独)通信総合研究所 緒方 寿幸  東京応化工業(株)
 
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