（著者紹介）微細加工技術〔基礎編〕

大津　元一		東京工業大学大学院総合理工学研究科教授

河田　　聡		大阪大学大学院工学研究科応用物理学専攻教授/阪大フロンティア研究機構機構長／理化学研究所主任研究員

益子　信郎		(独)通信総合研究所関西先端研究センターナノ機構グループグループリーダー

下田　達也		セイコーエプソン(株)テクノロジープラットフォーム研究所理事・所長

東　　博純		(株)豊田中央研究所有機材料研究室主任研究員

緒方　寿幸		東京応化工業(株)開発本部先端材料開発一部技術主任