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(財)長野県テクノ財団 善光寺バレー地域センターと信州大学地域共同研究センターとの共催による超精密産業技術研究会の編集。
産学官の連携を機軸に、マイクロからナノまでの微細加工と計測技術を詳解。豊富な図表や写真に加え、研究会での質疑応答と用語解説を充実させて、これからこの分野に携わる方にも理解を深められるように工夫した。 |
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2003年10月1日 |
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本体42,600円＋税 |
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332頁 |
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B5判 上製函入 |
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| ISBN4-86043-035-2 |
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【監修者】 |
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中澤光男 |
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信州大学工学部電気電子工学科教授 |
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【編集幹事】 |
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服部 寛 |
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前(財)長野県テクノ財団 善光寺バレー地域センターコーディネーター
(元長野日本無線研究所所長) |
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【編集委員】 |
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原山 昇 |
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(財)長野県テクノ財団 善光寺バレー地域センター事務局長 |
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小沼義治 |
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信州大学名誉教授 |
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神田鷹久 |
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信州大学工学部物質工学科教授 |
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吉田 隆 |
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(株)エヌ・ティー・エス代表取締役社長 |
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臼井唯伸 |
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(株)エヌ・ティー・エス編集企画部課長 |
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黒岩真弓 |
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京都大学農学研究科応用生命科学・食品生物科学専攻 |
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21世紀への目標と戦略 |
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超精密実装加工技術とナノテクノロジー |
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水晶振動子のマイクロ・ナノ加工への挑戦 |
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SPM・FIB・レーザー光技術と
ナノ加工の超精密検証 |
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半導体ナノテクノロジー |
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超精密計測と創造的発展 |
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あとがき(ナノの世界への道案内) |
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用語解説 |
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