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半導体、電子部品、化学品・材料、医薬品、食品など
各製品の生産機器、製造プロセスが生み出す、
微小異物の特性と対策を詳細に解説！
■本書のポイント
① 人から生まれる異物・発塵への対策
～作業員教育でどこまでリスクを抑制できるか？
そのポイント
② 人が持ち込む異物・発塵への対策
～清浄度クラスに応じてどれくらい厳しくするのか？
その判断基準
③ 温度・湿度・静電気の管理と発塵対策
～微小異物の挙動制御に不可欠！
そのシステム・ツールの活用法
④各産業分野におけるクリーンルームの異物対策
～製造プロセス、製造機器から生まれる異物の事例
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| 発刊日 |
2020年10月30日 |
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| 定 価 オンデマンド版 |
本体40,000円＋税 |
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| アカデミック価格 |
本体30,000円＋税 |
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※アカデミック価格の適用は、
エヌ・ティー・エスホームページをご覧ください。 |
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| 頁 数 |
523頁 |
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| 造 本 |
A4（オンデマンド） |
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| 発行所 |
技術情報協会 |
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| ISBN |
978-4-86104-805-0 |
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執筆者計55名
■章タイトル
第１章 人から生まれる塵埃・汚染物質の発生原因と作業員教育
第２章 クリーンルームへの異物持ち込みの防止策
第３章 クリーンルーム内で生まれる異物の防止策
第４章 クリーンルームにおける温度・湿度・静電気の管理手順
第５章 クリーンルームへの昆虫類の侵入・混入防止教育
第６章 クリーンルーム内作業の常識・非常識と作業員教育
第７章 半導体プロセスにおける塵埃・汚染物質対策と作業員教育
第８章 電子部品・光学部品等の製造工程における塵埃・汚染物質対策
第９章 化学品・材料分野のクリーンルームの異物対策と作業員教育
第10章 バイオロジカルクリーンルームにおける汚染・異物対策と作業員教育
◆付録 クリーンルームに関する国内外の規格の解説
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| クリーンルームの微小異物・汚染物対策と作業員教育 |
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