河合　晃

著者紹介
　国立大学法人 長岡技術科学大学大学院 電気電子情報工学専攻 教授
　ナノ・マイクロシステム工学研究室（河合研究室）
　研究成果実用化企業（大学ベンチャー企業）：アドヒージョン�� 代表取締役 兼務
【研究歴】
　三菱電機株式会社 ULSI 研究所
　長岡技術科学大学 電気電子情報工学専攻 教授
　・ リソグラフィー技術および設計
　・ コーティング、乾燥技術、薄膜形成、薄膜評価
　・ 表面、界面、付着、濡れ、剥離、クリーンネス・レジスト材料開発（g,i,excimer・・・、CELL、
　　 Si 含有、液浸）
　・ 現像液開発（界面活性剤、溶解特性）
　・ プロセス開発（3層、2層レジスト法、イメージリバーサル、位相シフト重ね合せ、輪帯照明、
　　 アライメント、スピンコート、スプレーコート、DUVキュア、パターン欠陥・・・）
　・ 装置開発（塗布現像装置、キュア装置、露光安定化、液浸）
　・ 評価技術（AFM 解析、表面硬化層、汚染洗浄、付着）
　・ デバイス開発（試作移管、歩留まり改善、工場立ち上げ、多層配線・・）

【業　績】
　論文160報以上、著書38冊、国際学会122報、国内学会212報、招待講演13件、学会講演27件、
　セミナー講演200件など

【役　職】
　各種論文査読委員、NEDO技術委員、公的予算審査委員などを歴任
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　2021 年9 月現在