2020版 薄膜作製応用ハンドブック
　
応用物理 
21世紀版薄膜作製応用ハンドブックから17年、
技術や応用分野は大きく進展。

基礎を押さえ、マテリアルズ・インフォマティクスと
機械学習による薄膜装置、量子効果デバイス、
ペロブスカイト太陽電池、人工光合成、グラフェンを
はじめとする二次元材料の合成法など新規応用分野も充実！
　
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発刊日 2020年2月
定　価 本体69,000円＋税
頁　数 1570頁
造　本 B5
発行所 (株)エヌ・ティー・エス
ISBN 978-4-86043-631-5 C3058
　
監修者　　　　權田 俊一（大阪大学名誉教授）
編集委員　　　酒井 忠司（東京工業大学）、田畑 仁（東京大学）八瀬 清志（産業技術総合研究所）
編集協力委員　宮﨑 照宣（東北大学名誉教授）



1編 薄膜材料の特性と特徴
　1章 薄膜の特性と特徴
　2章 薄膜材料の電気特性
　3章 薄膜材料の誘電特性
　4章 薄膜材料の固液界面特性
　5章 薄膜材料の磁気特性
　6章 薄膜材料の光学特性
　7章 薄膜材料の力学特性
　8章 薄膜材料の化学特性

2編 薄膜の作製と加工
　1章 基板と表面処理
　2章 PVD法
　3章 CVD法
　4章 液相薄膜堆積法
　5章 有機・高分子・生体関連薄膜作製法
　6章 パターン化技術
　7章 薄膜の加工／改質技術

3編 薄膜・表面・界面の分析・評価
　1章 薄膜・表面・界面の分析評価法
　2章 薄膜分析・評価対象各論

4編 薄膜技術の応用と展望
　1章 電子デバイス
　2章 光部品
　3章 ディスプレイ
　4章 記録
　5章 センサ
　6章 環境・エネルギー
　7章 有機・バイオデバイス
　8章 ２次元材料・デバイス

巻末付録
・キーワード索引
・評価方法と評価対象一覧
　
　
　
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