| 編集委員 |
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| 塩嵜 忠 |
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京都大学工学部電子物性工学教室助教授 |
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| 阿部 東彦 |
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三菱電機(株)半導体基礎研究所所長 |
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| 武田 英次 |
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(株)日立製作所中央研究所ULSI研究部部長 |
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| 津屋 英樹 |
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日本電気(株)研究開発グループ主席研究員 |
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| 執筆者 |
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| 垂井 康夫 |
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早稲田大学大学院理工学研究科客員教授 |
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| 大槻 達男 |
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松下電子工業(株)技術開発推進本部電子総合研究所室長 |
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Dr.Elliot
M.Philofsky |
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Ramtron International Corp. Sr Vice President,T echnology |
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Dr.Carlos,
A.Paz de
Araujo |
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Symetrix Corporation Chairman.／University of Colorado Springs 教授 |
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| 小木 勝実 |
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三菱マテリアル(株)中央研究所製錬・新素材研究部室長 |
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| 塩嵜 忠 |
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京都大学工学部電子物性工学教室助教授 |
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| 三原 孝士 |
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オリンパス光学工業(株)技術開発本部・基礎研究部機能デバイス研究室室長 |
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| 渡辺 均 |
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オリンパス光学工業(株)技術開発本部・基礎研究機能材料研究室係長 |
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| 清水 勝 |
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姫路工業大学工学部電子工学科助教授 |
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Peter S.
Kirlin |
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Advanced Technology Materials,Inc., Vice President |
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| Jiming Zhang |
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Advanced Technology Materials,Inc. |
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Peter C V
Buskirk |
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Advanced Technology Materials,Inc., Manager, Process Development |
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Dr. Maria
Huffman |
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元Symetrix Corporation Senior Scientist |
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| 宮坂 洋一 |
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日本電気(株)基礎研究所材料研究部担当部長 |
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| 川合 知二 |
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大阪大学産業科学研究所教授 |
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| 田畑 仁 |
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大阪大学産業科学研究所助手 |
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| 伊藤 博巳 |
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三菱電機(株)ULSI開発研究所
LSIプロセス開発第一部第4グループグループマネージャー |
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| 大森 達夫 |
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三菱電機(株)半導体基礎研究所第一研究部第4グループグループマネージャー |
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| 大西 茂夫 |
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シャープ(株)IC事業本部超LSI開発研究所第2開発室係長 |
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| 石原 数也 |
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シャープ(株)IC事業本部超LSI開発研究所第2開発室主任 |
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| 工藤 淳 |
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シャープ(株)IC事業本部超LSI開発研究所第2開発室主任研究員 |
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| 崎山 恵三 |
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シャープ(株)IC事業本部超LSI開発研究所第2開発室室長 |
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| 西村 正 |
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三菱電機(株)ULSI開発研究所LSIプロセス開発第二部グループマネージャー |
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| 國尾 武光 |
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日本電気(株)マイクロエレクトロニクス研究所超高集積回路研究部研究課長 |
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| 中村 孝 |
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ロ一ム(株)VLSI研究開発部第三研究グループ |
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| 石原 宏 |
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東京工業大学精密工学研究所教授 |
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| 淵上 貴昭 |
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ローム(株)VLSI研究開発部技術員 |
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| 中込 儀延 |
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(株)日立製作所半導体事業部半導体開発センター先端デバィス開発部主任研究員 |
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| 松原 拓 |
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(株)セガ・エンタープライゼスCSハードウェア研究開発部部長 |
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| 久山 均 |
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(株)東芝半導体システム技術センターメモリ応用技術第二部
メモリ応用技術第四担当課長 |
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| 中崎 泰貴 |
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レイコムジャパン(株)代表取締役社長 |
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| 山田 順三 |
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NTT技術調査部担当部長 |
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