次世代半導体用の難加工結晶材料のための超精密加工技術
 〜SiC、GaN、AlN、Ga2O3、ダイヤモンド〜
執筆者(敬称略) 

【監修】
會田 英雄  長岡技術科学大学 技学研究院 機械系 准教授 
土肥 俊郎  九州大学名誉教授/(株)Doi Laboratory 代表取締役
【編集委員】 山本 秀和  グリーンパワー山本研究所 所長 
會田 英雄  長岡技術科学大学 技学研究院 機械系 准教授
小堀 康之  (株)ハイテクノス
伊東 利洋  ZCSET(Zhejiang Xinhui Equipment Technology Co., Ltd.) 
有田 潔   西日本工業大学 工学部 総合システム工学科 教授 
石川 由加里 (一財)ファインセラミックスセンター 材料技術研究所 機能性材料G G長 
畝田 道雄  金沢工業大学 工学部 機械工学科 教授 
土肥 俊郎  九州大学名誉教授/(株)Doi Laboratory 代表取締役 
【著者】 會田 英雄  長岡技術科学大学
山本 秀和  グリーンパワー山本研究所
近藤 宏行  (株)デンソー
只友 一行  CNV技研(株)
鈴木 崇志  旭化成(株)
佐々木 公平 (株)ノベルクリスタルテクノロジー
鹿田 真一  関西学院大学
長屋 正武   (株)デンソー
皿山 正二  住友化学(株)
渡辺 信也  (株)ノベルクリスタルテクノロジー
原田 裕幸  Diamond Elements,Pvt.Ltd.
小堀 康之  (株)ハイテクノス
橋本 忠朗  シックスポイントマテリアルズ
尾崎 雅英  ダイトロン(株)
後藤 和彦  秀和工業(株)
豊田 和彦  浜井産業(株)
宮下 忠一  不二越機械工業(株)
伊東 利洋  Zhejiang Xinhui Equipment Technology Co., Ltd.
荻原 直樹  旭ダイヤモンド工業(株)
田中 匡志  ケメット・ジャパン(株)
山口 直宏  Mipox(株)
瀬川 悟志  旭ダイヤモンド工業(株)
高見 信一郎 (株)フジミインコーポレーテッド
松下 隆幸  ニッタ・デュポン(株)
北嶋 将太  (株)ノリタケカンパニーリミテド
倉見 比奈子 (株)ノリタケカンパニーリミテド
井上 正   (株)ノリタケカンパニーリミテド
齋藤 陽介  大智化学産業(株)
有田 潔   西日本工業大学 
石川 一政  (株)東京精密
檜山 浩國  (株)荏原製作所
久保 祐一  (株)東京精密
久野 耕司  浜松ホトニクス(株)
鈴木 宏之  パナソニックコネクト(株)
石川 由加里 (一財)ファインセラミックスセンター
小川 光弘  (株)ニデック
近藤 利幸  (株)ニデック
藤木 翔太  レーザーテック(株)
小林 健二  (株)日立ハイテク
中川 健   (株)堀場製作所
足立 真理子 ナノフォトン(株)
稲葉 克彦  (株)リガク
横江 大作  (一財)ファインセラミックスセンター
菅原 義弘  (一財)ファインセラミックスセンター
畝田 道雄  金沢工業大学 工学部 機械工学科 教授 
福田 明   徳山工業高等専門学校
橋本 洋平  金沢大学
磯部 浩已  長岡技術科学大学
大宮 奈津子 三桜工業(株)
鈴木 教和  中央大学
土肥 俊郎  (株)Doi Laboratory
久保田 章亀 熊本大学
佐野 泰久  大阪大学
村田 順二  立命館大学
瀬下 清   (株)ワイテクノ
黒河 周平  九州大学
松井 伸介  千葉工業大学
豊田 紀章  兵庫県立大学
千葉 翔悟  (株)斉藤光学製作所
永橋 潤司  (株)ミズホ
次世代半導体用の難加工結晶材料のための超精密加工技術 
〜SiC、GaN、AlN、Ga2O3、ダイヤモンド〜
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